传感器-第十章-谐振式传感器-课件.pptVIP

山东理工大学机械学院 传感器结构原理与设计 机械工程学院仪器系 李云雷 Tel:2786982 办公室：新实验楼427 第十章 谐振式传感器 定义：谐振式传感器是直接将被测量变化转换为物体谐振频率变化的装置，故也称为频率式传感器。 特点： 优点：高精度(0.01%)、高分辨率、高抗干扰能力、适于长距离传输、能直接与数字设备相连接 、高稳定性和高可靠性 。 缺点：要求材料质量较高，加工工艺复杂，所以生产周期长，成本较高 ；输出频率与被测量往往是非线性关系，需进行线性化处理 。 种类：电式、机械式、原子式。 外形 振筒 谐振筒压力传感器[～0.015％] 第一节 原理与类型 机械式谐振传感器将被测量转换为物体的机械谐振频率，其中振动部分被称为振子。 一、基本原理 振子谐振频率f： 振子谐振频率f与其刚度k和等效振动质量me有关，设其初始谐振频率为f0。 k——振子材料的刚度； me——振子的等效振动质量。 如果振子受力或其中的介质质量等发生变化，则导致振子的等效刚度或等效振动质量发生变化，从而使其谐振频率发生变化。 ?谐振式传感器的组成 振子； 激振元件：对振子施加激振力； 拾振元件：测量振子的振动频率。 激振元件 振子 拾振元件 放大器 被测量 频率输出 二、类型 机械振子的结构：张丝状、膜片状、筒状、梁状。 材料：铁镍恒弹合金；石英晶体（振膜或振梁，分扁平形、平凸形、双凸形）等。 谐振式传感器类型：振弦式、振膜式、振筒式、振梁式等。 一、振弦式谐振传感器 振弦受张力T作用，其等效刚度发生变化，谐振频率f为 ρl——振弦的线密度； l——振弦的有效振动长度。 第二节 特性 张力增加ΔT，振弦的振动频率变为 因为ΔT/T 1，所以可将上式中括弧里的项展开为幂级数，则上式为 单根振弦测压力时的非线性误差δ为 为了得到良好的线性，常采用差动式结构。上下两弦对称，初始张力相等，当被测量作用在膜片上时，两个弦张力变化大小相等、方向相反。通过差频电路测得两弦的频率差，则式(9-3)中的偶次幂项相抵消，使非线性误差大为减小，同时提高了灵敏度、减小了温度的影响。 二、振膜式谐振传感器 三、振筒式谐振传感器 四、振梁式谐振传感器 五、压电式式谐振传感器 特点：振子和圆筒由一整块石英加工；空腔为真空；振子两边一对电极连接外电路组成振荡电路。 原理：静态压力p→静应力→切变模量E66→固有频率f0 公式： 一、开环电路（间歇激励式电路） 第三节 转换电路 工作原理： 当张驰振荡器给出激励脉冲时，继电器吸合，电流通过磁铁线圈，使磁铁吸住振弦。 脉冲停止后松开振弦，振弦便自由振动、与线圈磁铁的间隙就周期性地变化，在线圈中产生感应电动势并经继电器常闭接点输出。 感应电动势的频率即为振弦的固有频率。 线圈兼有激励和拾振两种作用。 为提高线性度，采用图10-8，以f2为电路输出。 一、振弦式传感器 振弦式压力传感器 可测对象：地层压力； 工作原理：测量时，底座11上的膜片2和所要测量的地层面直接接触，地层压力变化，膜片便受压力发生挠曲，带动两个支架10向两侧拉开，振弦3被拉紧，改变了振弦的频率，根据频率变化测定膜片所受压力的大小。 第四节 应用实例 振弦式锚索传感器 测量锚索/锚杆加载或长期工作时的应力变化； 工作原理：承压筒载荷转换为筒体应变。 二、振膜式压力传感器 性能优异： 高的稳定性、重复性和较高灵敏度（0.3~0.5kPa/Hz）； 测量精度可达0.01%，重复性达十万分之几，稳定性每年0.01%~ 0.02% 。 应用： 航空航天领域测大气参数（静压及动压）、飞行高度、飞行速度等； 标准计量仪器对其他压力传感器标定。 * * * * 山东理工大学机械学院