PTC-PS-SJ-57-016C-00基板分割机_工程标准P2.docVIP

３.加工条件５.作业的要 ３.加工条件 ５.作业的要点 PTC-QMS-7.5-01 管理№ PTC-PS-SJ-57-016C-00 1 1．在组装室内实施作业，工作服装依照导入教育手册要求。 2．拿取基板的时候，需穿戴制定的手套（绝对不允许光着手触摸基板）。 3．搬送基板的时候，用手指夹住基板的端面搬送，绝不要触碰基板的电子件安装部位。 4．把基板插入放置架的时候，确保安装面朝下，基板基准孔一侧和放置架基准线一侧对准进行放置（最上面2层空置，从下面开始数，一共放15层基板）。 5．投入放置架的时候，先投入放置架有基准线的一头。 6．放置架投入分割机后，取出排出侧的制动棒，排出侧反面的制动棒不要动。 7．开始作业时，先让过滤器的清扫杆前后来回运动10次，抖落过滤器上附着的基板切割屑， 确认差压式水柱计的差值在1500Pa以下。 8．作业开始时，确认在夹具上没有切割屑等异物附着。 9．废弃基板框在作业结束后处理掉。 10．更换切割刀的时候，使用专门的夹具。 2/3 管理 管理项目 管理值 供气压力 0.4±0.05MPa 放置架基板放置数量 15版（从下往上数） 切割刀的刃径 φ1.5 主轴旋转速度 20,000±2,000min-1 切断速度 4mm/s 主轴冷却气压力 0.25～0.30MPa 切割刀更换周期 1,500版 切割刀第2段刀刃更换周期 500版 切割刀第3段刀刃更换周期 1,000版 集尘机压力差 1,500Pa以下 ４.更换部品 ４.更换部品 名称 规格?制造商型号 更换周期 1.开槽切割刀 東芝制钨合金刀 CMB-SA003（φ1.5） 每1,500版 2.基板吸附部 吸附垫 SMC ZP3-T04BGSK3-B5 每6个月 3.基板吸附部 更换用元件 SMC ZFC-EL-3 每6个月 4.集尘机过滤器 ???　???????? 每6个月 特殊特性 重要特性 特殊工程 受管制物质 名称 操作方法 循环时间 秒 品 名 设备名 工程名 由 来 制　定 年 　月　日 承认 审　查 作　成 TPMS发射机 工程标准书 符号 年月日 修改理由 承认 审查 负责人