Q_320506TS-2020JC-432-1D_TS型管式PECVD设备企业标准.pdf

Q/320506TS Q/TS 苏州拓升智能装备有限公司企业标准 Q/320506TS JC-432-1D/TS型管式PECVD 设备 2019-12-10发布 2020-1-10 实施 苏州拓升智能装备有限公司 1 Q/320506TS 目  次 前言 3 1 范围4 2 规范性引用文件4 3 型号命名方法4 4 工作环境条件4 5 要求5 6 对外通讯接口7 7 试验方法8 8 检验规则11 9 标志、包装、运输和贮存13 2 Q/320506TS 前  言 本标准依据GB/T1.1-2009 《标准化工作导则第 1部分：标准的结构和编写》给定的规则编写。 本标准由苏州拓升智能装备有限公司提出。 本标准起草单位：苏州拓升智能装备有限公司。 本标准主要起草人：陈晖、王玉明 本标准为首次发布。 3 Q/320506TS JC-432-1D/TS型管式PECVD 设备 1 范围 本标准规定了JC-432-1D/TS型管式PECVD设备的命名方法、工作环境条件、要求、试验方法、检 验规则及标志、包装、运输和贮存。 本标准用于JC-432-1D/TS型管式PECVD设备 （以下简称设备）的生产、检验和交货。 2 规范性引用文件 下列文件中对于本标准的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本标 准。凡是不注日期的引用文件，其最新版本 （包括所有的修改单）适用于本标准。 GB/T 191-2008 包装储运图示标志 GB5226.1-2008 机械安全机械电气设备第1部分：通用技术条件 GB6388-1986 运输包装收发货标志 GB/T 13306-2011 标牌 GB/T 13384-2008 机电产品包装通用技术条件 GB/T17626.2-2016 电磁兼容试验和测量技术静电放电抗扰度试验 GB/T17626.3-2016 电磁兼容试验和测量技术射频电磁场辐射抗扰度试验 SJ/T 37-1996 电子工业专用设备型号编制与命名方法 SJ/T 10674-1995 涂料涂覆通用技术条件 3 型号命名方法 型号及命名方法如下： JC— 432-1D/ TS 企业代号 设计代号 产品代号 设备序号 4 工作环境条件 4 Q/320506TS 4.1 环境温度 10℃～35℃。 4.2 大气压强 86kPa～106kPa。 4.3 排风系统 有良好的抽风排毒系统，在气源柜、炉体柜和废气室顶部均要有密封负压抽气管与设备相连，总抽 气量≥4000L/min （四管，各