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附件七：
电子工业污染物排放标准 半导体器件
编 制 说 明
（征求意见稿）
《电子工业污染物排放标准 半导体器件》编制组
二 00 八年六月
目 录
1.项目由来................................................................... 1
2.标准制订的必要性........................................................... 1
2.1 半导体产业是国家和上海市地方重点发展的产业............................1
2.2 我国缺乏半导体行业的国家排放标准 ....................................2
3.标准制订的原则与依据....................................................... 2
4.我国半导体行业现状与发展趋势预测........................................... 3
5.标准适用范围............................................................... 7
6.半导体生产工艺及污染控制技术调查分析....................................... 8
6.1 半导体生产工艺 ....................................................8
6.2 产污分析 .........................................................9
6.3 污染控制技术调查分析..............................................15
7.国外半导体行业污染物排放标准.............................................. 20
7.1 美国半导体行业污染物排放标准.......................................20
7.2 德国半导体元件生产废水排放标准 .....................................22
7.3 世界银行污染预防和削减手册的相关标准................................23
7.4 台湾半导体制造业空气污染管制及排放标准 ..............................24
8标准制订.................................................................. 25
8.1 标准制订的基本思路................................................25
8.2 执行时间段划分 ...................................................25
8.3 排放因子及控制指标的选择 ..........................................26
8.4 标准值的形式.....................................................27
8.5 标准值的确定.....................................................28
9.标准实施的管理措施........................................................ 34
10.标准可行性分析........................................................... 35
10.1 经济可行性分析 ..................................................35
10.2 技术可行性分析 ..................................................37
10.3 环境效益分析 ....................................................37
10.4 本标准与 GB 8978-1996 和 GB 16297-1996 的比较.........................38
I
电子工业污染物排放标准 半导体器件
编 制 说 明
1.项目由来
根据国家环境保护总局对环境排放标准的改革思路，今后将逐步淡化大气和污水综合排放标
准的作用，而是
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