GB/T 32280-2015硅片翘曲度测试自动非接触扫描法.pdf

ICS77.040 H21 中华人 民共和 国国家标准 / — GBT32280 2015 硅片翘曲度测试 自动非接触扫描法 — Testmethodforwar ofsiliconwafers p Automatednon-contactscannin method g 2015-12-10发布 2017-01-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发 布 中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 / — GBT32280 2015 前 言 本标准按照 / — 给出的规则起草。 GBT1.1 2009 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会( / )与全国半导体设备和材料标准 SACTC203 化技术委员会材料分会( / / )共同提出并归口。 SACTC203SC2 : 、 、 、 本标准起草单位 有研半导体材料有限公司 上海合晶硅材料有限公司 杭州海纳半导体有限公司 、 、 。 浙江金瑞泓科技股份有限公司 浙江省硅材料质量检验中心 东莞市华源光电科技有限公司 : 、 、 、 、 、 、 。 本标准主要起草人 孙燕 何宇 徐新华 王飞尧 张海英 楼春兰 向兴龙 Ⅰ / — GBT32280 2015 硅片翘曲度测试 自动非接触扫描法 1 范围 、 。 本标准规定了硅片翘曲度的非破坏性 自动非接触扫描测试方法 , 、