GB/T 30654-2014Ⅲ族氮化物外延片晶格常数测试方法.pdf

ICS77.040.20 H21 中华人 民共和 国国家标准 / — GBT30654 2014 Ⅲ族氮化物外延片晶格常数测试方法 TestmethodforlatticeconstantofⅢ-nitrideeitaxiallaers p y 国家标准ㅤ可打印ㅤ可复制ㅤ无水印ㅤ高清原版ㅤ去除空白页 2014-12-31发布 2015-09-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发 布 中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 / — GBT30654 2014 前 言 本标准按照 / — 给出的规则起草。 GBT1.1 2009 国家标准ㅤ可打印ㅤ可复制ㅤ无水印ㅤ高清原版ㅤ去除空白页 Ⅰ / — GBT30654 2014 Ⅲ族氮化物外延片晶格常数测试方法 1 范围 本标准规定了利用高分辨 射线衍射测试 族氮化物外延片晶格常数的方法。 X Ⅲ ( 、 ) ( 、 、 、 ) 本标准适用于在氧化物衬底 AlO ZnO等 或半导体衬底 GaN SiGaAsSiC等 上外延生长的 2 3 ( , , ) 。 氮化物 Ga In AlN单层或多层异质外延片晶格常数的测量 其他异质外延片晶格常数的测量也可 参考本标准。 2 符号 下列符号适用于本文件。 : , 。 FWHM 半高宽 衍射峰高一半处衍射峰的全宽 : 。 ω入射光和样品表面之间的角度