光纤光栅压力传感器解读.ppt

1 姓名： 潘金全 学号： 1434041006 题目：光纤光栅压力传感器 光子信息技术 1. 压力传感器 在现代工业生产过程中，压力是进行测量和控制的最基本参数之一。 力学传感器的种类繁多，如电阻应变片压力传感器、半导体应变片 压力传感器、压阻式压力传感器、电感式压力传感器、电容式压力传感 器、谐振式压力传感器及电容式加速度传感器等。 电容式压力传感器 电感式压力传感器 压阻式压力传感器 工程上常用的几种压力传感器 1. 液柱式压力计 液柱式压力计是以流体静力学原理来测量压力的。它们一般采用水银或水为 工作液，用 U 型管或单管进行测量，常用于低压、负压或压力差的测量。 2. 弹性式压力表 弹性式压力表是以弹性元件受压后所产生的弹性变形作为测量基础的。它结 构简单、价格低廉，现场使用和维修都很方便，又有较宽的压力测量范围，因此 在工程中获得了非常广泛的应用。 3. 压阻式压力传感器 压阻式压力传感器的压力敏感元件是 压阻元件 ，是基于 压阻效应 工作 的。所谓压阻元件实际上就是指在半导体材料上用集成电路工艺制成的扩散电阻， 当它受外力作用时，其阻值由于电阻率的变化而改变。该传感器的主要优点是体 积小，结构比较简单，动态响应好，灵敏度高，能测出十几 Pa 的微压，它是一种 比较理想的压力传感器。但是，这种传感器测量准确度受到非线性和温度的影响， 从而影响压阻系数的大小。 2 光纤压力传感器 ? 除了上述几种传统的压力传感器…… ? 光纤光栅压力传感器能够克服传统电磁类压力传 感器的应用局限性 , 具有本质安全防爆，耐腐蚀 , 抗电磁干扰能力强，信号传输距离远，易于实现 压力的多点分布式测量和长期在线监测等优点 。 2.1 光纤光栅的结构 ? 它是利用光纤材料的 光折变效应 ，用紫外激光向光纤纤芯内由侧面 写入 , 形成折射率周期变化的光栅结构，这种光栅称之为布喇格 （ Bragg ）光纤光栅。 ? 根据光纤光栅的耦合模理论 , 当一束宽带光入射到光纤光栅中时 , 折 射率的周期性结构使得某特定波长的窄带光被反射 , 反射光的波长满 足 Bragg 散射条件： ? ? eff B n 2 ? 其中： λ B 为 Bragg 波长（即反射光的中心波长）； Λ 为光栅周期； n eff 为光纤光栅的有效折射率； 由上式可知 , 光纤光栅反射光的中心波长 ( 光纤光栅波长 ) 主要取决于光 栅周期Λ和有效折射率 n eff 。 光纤光栅结构示意图 ? ? eff B n 2 ? ? 当光纤光栅感受到外界环境温度 T 或应变ε发生变化时，会引起光栅周 期和有效折射率的变化，从而引起反射光波长的偏移。 ? 因此，通过检测光纤光栅反射光波长的变化，即可获知外界温度或应变 信息，这就是光纤光栅传感的基本原理。 3. 光纤光栅的应力特性 当外界有应力作用于光纤光栅上时，就会使光纤光栅被机械性的拉长而改变其光 栅常数，可以表示为： 式中 ε x 为考察点处轴向应变。 x ? ? ? ?? 弹光效应使得 光纤光栅折射率 发生变化： x e eff eff P n n ? ? ? ? 其中， Pe 为弹光系数 ? 上式即为光纤光栅的 波长变化 与 外界应变 之间关系的表达式； ? 式中 K ε 为纤光栅的应变灵敏度系数，其大小与光纤材料密切相关，由光纤的 弹光系数、有效折射率和泊松比决定。 f h BF G l 2d 光栅 ? 下图的光纤光栅应变传感器是一种悬臂梁应变调谐机构。 ? 当光纤的材料确定后，Kε即为常数， 光纤光栅波长变化 与 外界应变 成一次 成线性关系，因此，可以通过检测光纤光栅中心波长的偏移即可获知外界的 应变信息。 ? 也由光纤光栅的应变计算出传感光栅的波长变化 光纤光栅波长悬臂梁调谐曲线 1546.0 1547.0 1548.0 1549.0 1550.0 1551.0 1552.0 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 波长调谐曲线 y = -0.3710x+1551.0 R^2 = 1.0000 刻度 波 长 ( n m ) 15 20 25 30 35 40 1537.85 1537.86 1537.87 1537.88 1537.89 1537.90 1537.91 波 长 / n m 高度/cm Y = 1537.95814 - 0.00283 * X R