中南大学 透射电镜4 1.ppt

第三章 透射电子显微镜成象原理与图象解释 TEM 中电子显微像的衬度类型 胞 状 组 织 金相显微镜及扫描电镜均只能观察物质表面 的微观形貌，它无法获得物质内部的信息。而 透射电镜由于入射电子透射试样后，将与试样 内部原子发生相互作用，从而改变其能量及运 动方向。显然，不同结构有不同的相互作用。 这样，就可以根据透射电子图象所获得的信息 来了解试样内部的结构。由于试样结构和相互 作用的复杂性，因此所获得的图象也很复杂。 它不象表面形貌那样直观、易懂。 因此，如何对一张电子图象获得的信息作出 正确的解释和判断，不但很重要，也很困难。 必须建立一套相应的理论才能对透射电子象作 出正确的解释。如前所述电子束透过试样所得 到的透射电子束的强度及方向均发生了变化， 由于试样各部位的组织结构不同，因而透射到 荧光屏上的各点强度是不均匀的，这种强度的 不均匀分布现象就称为衬度，所获得的电子象 称为透射电子衬度象。 其形成的机制有两种： 1. 相位衬度 让透射束和尽可能多的衍射束，携带它们的振幅和相 位信息一起通过样品时，通过与样品的相互作用，就能 得到由于相位差而形成的能够反映样品真实结构的衬度， 高分辨像 —— 那些晶面的晶格象，或者一个个原子的晶 体结构象。仅适于很薄的晶体试样 (≈100 ?) 。 2. 振幅衬度 振幅衬度是由于入射电子通过试样时，与试样内原子 发生相互作用而发生振幅的变化，引起反差。振幅衬度 主要有质厚衬度和衍射衬度两种： ① 质厚衬度 由于试样的质量和厚度不同，各部分对入射电 子发生相互作用，产生的吸收与散射程度不同， 而使得透射电子束的强度分布不同，形成反差， 称为质 - 厚衬度。 ② 衍射衬度 衍射衬度主要是由于晶体试样满足布拉格反射 条件程度差异以及结构振幅不同而形成电子图 象反差。它仅属于晶体结构物质，对于非晶体 试样是不存在的。 第一节 质厚衬度原理 质厚衬度的形成主要决定于散射电子的数量。当产生 散射时，如散射角大于一定值，一部分散射电子不能通 过物镜光阑，使到达荧光屏的电子数减少，由于试样各 部分对电子的散射能力不同，使得通过物镜光阑的透射 电子数目不同，从而引起电子束的强度差异，形成衬度 . 散射本领大，透射电子数少的样品部分所形成的像要 暗些，反之，则亮些。对于非晶样品，入射电子透过样 品时碰到的原子数目越多（或样品越厚），样品原子核 库仑电场越强（或原子序数或密度越大），被散射到物 镜光阑外的电子就越多，而通过物镜光阑参与成像的， 电子强度就越低，即衬度与质量、厚度有关，故这种衬 度称为质量－厚度衬度（ Mass-thickness contrast ， 简称 质厚衬度）。 下面我们推导质厚衬度公式。设单个原子的的散射截面（即单位电子流 密度的入射电子通过单位厚度的一个散射靶的物质受到的散射几率） 其中 Z 为原子序数， V 是加速电压， e 为电子电荷， q 为散射角。如果 忽略原子间的相互作用。则每立方厘米包含 N 个原子的样品的总散射截 面为 其中 ， N 0 为阿伏加德罗常数， 是密度， A 是试样的原子量。 面积为 1cm 2 ，厚度为 dt 的试样的散射截面为 它表示入射电子穿透厚度为 dt 的试样被散射到物镜光阑外（事实上是某 个角度 q 外）的几率。当入射到 1cm 2 样品的电子数为 n 时，透过厚度为 dt 的样品后有 dn 个电子被散射到物镜光阑外，其电子数减少率为 质厚衬度计算的示意图 设在样品的上表面（对应于厚度 t=0 处）入射电子总数为 n 0 ，（上 图 ）。由于受到厚度为 t 的样品的散射，最后只有 n 个电子透过物镜光 阑成像。对上式两边积分 电子束强度 上式说明，强度为 I 0 的入射电子穿透总散射截面为 Q ，厚 度为 t 的样品后，透过物镜光阑参与成像的电子束强度 I 随 乘积 Qt 的增大而指数衰减。 当 Qt=1 ，定义这时的 t 为临界厚度 Ω 对于 TEM 试样，由于厚度很小，上式可写成 这个公式告诉我们，衬度与加速电压 V 、散射角