GS_莫尔效应及光栅传感实验仪实验指导及操作说明书_2012-12-30.pdf

实用标准文案 ZKY-GS 莫尔效应及光栅传感实验仪 实验指导及操作说明书 精彩文档 实用标准文案 成 都 世 纪 中 科 仪 器 有 限 公 司 地址：成都市人民南路四段九号中科院成都分院 邮编： 610041 电话：（028 传真： （028 网址； WWW.ZKY.CN E-mail: ZKY@ZKY.C n 2012-12-30 精彩文档 实用标准文案 莫尔效应及光栅传感实验 几百年前，法国人莫尔发现一种现象：当两层被称作莫尔丝绸的绸子叠在一起时将产生复杂的 水波状的图案，如薄绸间相对挪动，图案也随之幌动，这种图案当时称之为莫尔或者莫尔条纹。一 般说，任何具有一定排列规律的几何图案的重合，均能形成按新规律分布的莫尔条纹图案。 1874 年，瑞利首次将莫尔图案作为一种计测手段，即根据条纹的结构形状来评价光栅尺各线 纹间的间隔均匀性，从而开拓了莫尔计量学。随着时间的推移，莫尔条纹测量技术现已经广泛应用 于多种计量和测控中。在位移测量、数字控制、伺服跟踪、运动比较、应变分析、振动测量，以及 诸如特形零件、生物体形貌、服装及艺术造型等方面的三维计测中展示了广阔前景。例如广泛使用 于精密程控设备中的光栅传感器，可实现优于 1 μm 的线位移和优于 1" （1/3600 度）的角位移的 测量和控制。 实验目的 1. 理解莫尔现象的产生机理 2. 了解光栅传感器的结构 3. 观察直线光栅、径向圆光栅、切向圆光栅的莫尔条纹并验证其特性 4. 用直线光栅测量线位移 5. 用圆光栅测量角位移 实验原理 1. 莫尔条纹现象 两只光栅以很小的交角相向叠合时 ,在相干或非相干光的照明下， 在叠合面上将出现明暗相间的 条纹，称为莫尔条纹。莫尔条纹现象是光栅传感器的理论基础，它可以用粗光栅或细光栅形成。栅 精彩文档 实用标准文案 距远大于波长的光栅叫粗光栅，栅距接近波长的光栅叫细光栅。 直线光栅 两只光栅常数相同的光栅，其刻划面相向叠合并且使两者栅线有很小的交角 ，则由于挡光效 θ 应（光栅常数 d >20 μm ）或光的衍射作用（光栅常数 d <10 μm ），在与光栅刻线大致垂直的方 向上形成明暗相间的条纹，如图 1所示。 d 亮 暗 亮 2B 暗 θ/2 亮 暗 亮 暗 亮