PCM测试原理及方法简介_final.pdf

实用标准文案 PCM 测试原理及方法简介 PCM 即 Process Control Monitor ( 工艺控制监控 ) 的缩写。从名称上我们可以看出 PCM 测 试的基本作用即通过电参数对工艺控制起到监控作用，同时它也是反映产品质量的一种手段。 PCM 作为一个技术支持部门，主要把线上一些工艺异常进行及时的反映出来，在产品入库前对 其进行最后一道质量的检验，其作用归纳起来，有如下几点： （1） 对产品进行参数质量检验； （2 ） 通过 PCM 测试，获取线上异常信息； （3 ） 为线上的工艺实验提取参数信息； （4 ） 进行客户反馈产品失效原因分析； （5 ） 数据统计分析工作； PCM 测试在划片槽内有专门的测试图形，它们是与芯片内的图形同时完成的，因此它可以 有效而准确的反映工艺情况。但是由于图形本身与电路中管芯并不完全相同，实际情况可能比 PCM 图形复杂。因此圆片在 PCM 测试完成以后还需要进行中测即成品率测试以反映芯片的功能。 在这里我们只就 PCM 参数测试从以下四方面进行简要介绍。 一． PCM 测试原理及测试系统 二． PCM 常见参数测试方法 精彩文档 实用标准文案 三． PCM 常见参数描述 一． PCM 测试原理及测试系统 简单的说 PCM 测试就是在被测器件上施加的一定大小和方向的电流或电压，然后 监控被测器件的电压或电流情况来反映被测器件的电学特性来达到监控工艺情况和产 品质量的目的。这一过程是通过一套完整的测试系统来完成的。 PCM 测试系统包括控制终端， 测试仪，测试头，开关矩阵，探针台和 HP-IB CABLE 构成。系统 ( 以 HP4062 为例 )连线如下图所示： 精彩文档 HP-IB Cable 实用标准文案 Control Cable SWC (Switching Matrix Controller) CMU Cable SMS CMU (Switching Matrix Subsystem) AUX Cable DCS (DC Subsystem) HP-IB Controlled Wafer Prober HP-IB Cable HP 9000 精彩文档 Series 300 Computer Wafer 实用标准文案 Host Computer HP-IB Cable 测试过程： 计算机控制终端根据我们的要求发出指令 （测试程序）控制测试仪和探针台进行动