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磁控溅射镀膜及其应用
曹达华
2009.06.11
Qqsn:
溅射原理
1、電焊及雹弧燈的電弧(arc)就有電漿存在·如所發出的強
光即是。
2丶日光燈的照明·事實上即利此種電漿發光原理(塗上螢
光劑·瀼電子或子打在螢光物質上將蚴能轉變為螢光)
3丶天上打雷是因大氣層上的電位差而發生閃電現象·此種電
能亦可觸發電桀的產生
4·PDP(電桌顥示器)的發光原理與日光燈相同均是在真空
攻璃管中注人惰性氯體·再利用加電尽的方式使氯體
產生寬效慼而放出紫外線·藉此紫外線照射到塗佈在
玻璃管壁長西上之螢光紛(紅.丶丶藍.)
溅射原理
1.先让惰性气体(通常为Ar气)产生辉光放电
现象产生带电的离子
2.带电离子经电场加速后撞击靶材表面,使靶
材原子被轰击而飞出来,同时产生二次电子
再撞击气体原子从而形成更多的带电离子
3.靶材原子携带着足夠的动能到达被镀物(基
材)的表面进行沉积。
溅射原理
Source Sputtering
Sputtering Process
Inc ident Ar lon Beams
Sputtered Neutrals
Target (negative high voltage)
溅射原理示意图
溅射沉积示意图
溅射原理
discharge
Townsend discharge
溅射示意图
直流样光放电的电压电流密度关系图
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