等离子体诊断技术 探针测量.pptVIP

等离子体诊断技术 ------- 静 电探针测量 1 、等离子体诊断概述 1.1 目的及其在科学中发展的意义 1.2 需要诊断的内容（等离子体参数） 1.3 常用的等离子体诊断手段和种类 1.4 实验的可靠性和误差 1.5 干扰与噪声及其消除办法 1.6 分辨率 2 、静电探针诊断技术 2.1 探针的结构 2.2 单探针的工作原理 2.3 双探针的工作原理 ? 1.1 目的及其在科学中发展中的地位 等离子体诊断诊断：对等离子体性质和状态以及各 种 28 参量（即表征等离子体性质和状态的物理量的 测量 是等离子体实验研究和等离子体各项应用需要首先 解决的一个问题。 等离子体诊断技术是等离子体科学和技术的重要部 分，是与等离子体科学相伴随，相互促进而同时发 展起来的一个特殊学科和科学领域。 ? 1.2 需要诊断的内容（等离子参数） 随着等离子体科学和技术及其应用的发展，在低 温等离子体中需要诊断的等离子体参量主要包括： 等离子体中 电子温度 及其时空分布 等离子体中 电子密度 及其时空分布 等离子体中 离子温度 及其时空分布 等离子体中 离子密度 及其时空分布 等离子体中 中性原子 及其时空分布 等离子体中 反应物及其中间产物的种类 、 密度 及 时空分布 等离子体中 杂质原子 、 离子种类密度 及其时空分 布 ? ? t r T e , ? ? t r N e , ? ? t r T i , ? ? t r N i , ? ? t r N o , ? ? t r N R , ? 1.3 常用的等离子体诊断手段和种类 适用于低温等离子体的诊断手段 诊断手段 可测等离子体参数 利用等离子 体发射的光 波（光谱） 进行诊断 X 射线 电子温度、电子密度、离子密度、 等离子不稳定性 真空紫外光谱 电子温度、电子密度、离子温度、 离子密度、中性粒子密度 紫外可见光谱 电子温度、电子密度、离子温度、 离子密度、中性粒子密度 利用激光或 电磁波与等 离子体相互 作用进行等 离子体诊断 激光散射 电子温度 远红外激光干 涉 电子密度 微波干涉 电子温度、电子密度 激光荧光光谱 原子密度、离子密度 探针测量 静电探针测量 （郎缪探针测 量） 电子温度、电子密度、离子温度、 离子密度、等离子体空间电位 粒子测量 质谱 粒子种类和密度 ? 1.4 实验的可靠性和误差 误差 系统误差 偶然误差 偶然误差是各种已知条件保持恒定的情况 下，由于各种不可控因素使测量结果表现 出来的差异。误差来源：测量本身的起伏 和过程中的起伏。统计特性是精密测量误 差的极限。多次测量来减小偶然误差。 系统误差是由于测量过程中某些确定的因素 使得测量结果和被测量量之间产生偏差。例 如：光电管测量入射光强时存在的暗电流本 底；计数粒子束时，由于探头失效时间而使 计数损失等。 偶然误差 通常偶然误差 随机偶然误差 已知条件保持恒定变不变时，由于人为 原因造成的读书误差 。 是等离子体特有的一种误差。 干扰 ：由于外部因素引起的测量对象或测量结果的扰动和 偏差。 噪声 ：内在因素引起的统计性涨落。 干扰与噪声的来源 干扰来源： 空间电磁波、电源的噪声和试验系统本身的 电磁干扰。由于很多等离子体系统是由各种放电产生的，所 以放电对诊断的干扰时不可避免的。 例如：磁探针对磁场的干扰；高温等离子体本身会辐射电磁 波，从无线电波到 x 射线都有，还有逃逸粒子 1.5 干扰与噪声及其消除方法 消除干扰的方法 ： 静电屏蔽、电磁屏蔽、静磁屏蔽 1.6 分辨率 在等离子体诊断中，分辨率是一个表示测量 精确程度的物理量，包括 被测物理量大小的 分辨率 和 时间空间分辨率 。 被测物理量大小的分辨率 ： 指的是被测数据相差多大程度， 才能通过测量手段区别或鉴别出来。 时间空间分辨率 ： 指的是所测物理量大小随时间和空间 变化的最小尺度。 2 、静电探针诊断技术 ? 发展历史： 静电探针称为朗缪尔探针，由朗缪 尔等人于 1924 年提出，已成为测量等离子体参量 重要工具。另一个里程碑就是双探针技术的发现。 当等离子体密度范围从几个粒子 /cm 3 到大于