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机械工程测试技术基础 第六章 位移测量 第一节 概 述 第二节 常用的位移传感器 第三节 位移测量的应用 第六章 位移测量 机械工程测试技术基础 第一节 概 述 位移测量是 线位移 和 角位移 测量的统称，测量时应根据具 体的测量对象，来选择或设计测量系统。在组成系统的各环 节中，传感器性能特点的差异对测量的影响最为突出，应给 予特别注意。 在不同的场合下对位移测量的精度要求不同，位移参量 本身的量值特征、频率特征的不同，自然地形成了多种多样 的位移传感器及其相应的测量电路或系统。 第一节 概述 机械工程测试技术基础 类 型 测量范围 精确度 性能特点 滑线电 阻式 线位移 1 ～ 300mm ± 0 ． 1 ％ 结构简单、使用方便，输出大、性能稳定 角位移 0 °～ 360 ° ± 0 ． 1 ％ 分辨率较低，输出信号的噪声大，不宜用于频率较高时的动态测量 电阻应 变片式 直线式 ± 250 μ m ± 2 ％ 结构牢固、性能稳定、动态特性好 摆角式 ± 12 ° 电感式 变气隙型 ± 0 ． 2mm 结构简单、可靠，仅用于小位移测量的场合 差动变压器型 0 ． 08 ～ 300mm ± 3 ％ 分辨力较好、输出大，但动态特性不是很好 涡电流型 0 ～ 5000 μ m ± 3 ％ 非接触式，使用简便、灵敏度高、动态特性好 电容式 变面积型 10-3 ～ 100mm ± 0 ． 005 ％ 结构非常简单，动特性好，易受温度、湿度等因素的影响 变间隙型 0 ． 01 ～ 200 μ m ± 0 ． 1 ％ 分辨力很好，但线性范围小，其他特点同变面积型 霍尔元件型 ± 1 ． 5mm ± 0 ． 5 ％ 结构简单、动特性好、温度稳定性较差 感应同步器型 10-3 ～几米 2 ． 5 μ m/250mm 数字式，结构简单、接长方便，适合大位移静动态测量，用于自动 检测和数控机床 计 量 光 栅 长光栅 10-3 ～几米 3 μ m ／ 1m 数字式，测量精度高，适合大位移静动态测量，用于自动检测和数 控机床 圆光栅 0 °～ 360 ° ± 0 ． 5 ° 角度编 码器 接触式 0 °～ 360 ° 10-6rad 分辨率好、可靠性高 光电式 0 °～ 360 ° 10-8rad 第一节 概述 机械工程测试技术基础 第二节 常用的位移传感器 一、滑线电阻式位移传感器 a ）直线位移型 b ）角位移型 c ）测量电路 1 — 滑线电阻 2 — 滑动触头 滑线电阻式位移传感器具有结构简单、使用方便、输出大、 性能稳定等优点，但由于触头运动时有机械摩擦，其使用寿 命受限、分辨率较低、输出信号噪声大、不宜用于频率较高 时的动态测量。 第二节 常用的位移传感器 机械工程测试技术基础 二、应变片式位移传感器 应变片式位移传感器由 弹性元件 和 应变片 等组成，其测量 原理是利用弹性元件把位移量转换成应变量，而后由应变片 将应变量转换成电阻的变化量。应变片式位移传感器的种类 有多种，其 区别 点就在于 弹性元件的结构形式 。常用的弹性 元件有 悬臂梁式 、 圆环式 和 半圆环式 等。 ▲悬臂梁弹性元件 a ）悬臂梁及贴片 b ）应变片接桥 第二节 常用的位移传感器 机械工程测试技术基础 对于 等断面梁 ，贴片处的应变与位移间的关系为 ? ? hx l 3 3 2 ? 若按上图所示的方法贴片和接桥， 位移 与 应变仪读数 的关系 ? ? ? ? 3 1 3 2 3 3 hx l hx l ? ? 2 ? 3 3 ? ? ? h l h l ? ? 对于 等强度梁 ，则有 这种测量方法一般只用于小位移 δ 250 μm 的情况下。其主要 特 点 是结构牢固、性能稳定、可靠，有较高的测量精度和良好的 线性关系，与之配用的测量电路和仪器也较为成熟。 第二节 常用的位移传感器 机械工程测试技术基础 ▲圆环或半圆环弹性元件 在被测位移作用下， 圆环或半圆环弹性元件 会产生弯曲应力 和应变，其应变值与位移成正比。 第二节 常用的位移传感器 机械工程测试技术基础 这种方法直接测量的位移量较小，为了扩大其量程，可通过一 些装置将小位移进行变换。例如，用用一斜面将小位移变换成 大位移的装置。 第二节 常用的位移传感器 机械工程测试技术基础 三、差动变压器式位移传感器 1 — 次侧线圈 2 — 二次侧线圈 3 — 二次侧线圈 4 — 铁心 输出电压 l Ke e e e ? ? ? ? 2 2 1 0 1 1 1 l e K e ? ? 2 2 2 l e K e ? ? 第二节 常用的位移传感器 机械工程测试技术基础 输出信号 e 0 是一个交流信号，其幅值与位移 Δ l 成正比，而 频率则等于交流电源的频率（当 Δ l 是常量时）或与之有一定 的关系。差动变压器