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SJ/TXXXXX—XXXX
附录A
(规范性附录)
表面杂质含量测定方法
A.1 范围
本附录规定了多晶硅包装用聚乙烯材料表面杂质含量的测试方法。
本附录适用于多晶硅包装用聚乙烯材料表面硼(B)、钠(Na)、镁(Mg)、铝(Al)、磷(P)、钾(K)、
钙(Ca)、铬(Cr)、锰(Mn)、铁(Fe)、镍(Ni)、铜(Cu)、锌(Zn)、砷(As)、铅(Pb)等杂质含量
的测定。各元素的测量范围见表A.1。
表A.1表面杂质含量测量范围
单位为纳克/平方厘米(ng/cm )2
元素名称 元素符号 测量范围
-3 2
硼 B 1×10 ~4×10
-4 2
钠 Na 2×10 ~4×10
-4 2
镁 Mg 2×10 ~4×10
-4 2
铝 Al 2×10 ~4×10
-4 2
磷 P 2×10 ~4×10
-4 2
钾
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