日立SU8020扫描电镜的应用培训.pptVIP

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2020-07-31 发布于福建
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日立SU8020扫描电镜的应用培训.ppt

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成八5 HITACHI 日立SU8020)场发射扫描电镜基础原理和应用介绍天美(中国)科学仪器有限公司应用工程师:高敞 2013年5月20日 @Hitachi High-Technologies Corporation 主要内容 E立八5了立SU8020的工作原理 1二、日立SU8020的操作和应用 1、SEM的结构 11、样品制备 2、SE和BSE信号 12、扫描电镜最基本的操作 3、分辨率及影响因素 !3、参数选择;Vacc,W,SED 4、E×B技术 4、荷电现象 5、信号控制系统 !5、“污染”现象 6、维护和保养 6、样品损伤 7、减速模式 1.扫描电镜的结构 E立八电子枪离子泵聚光器区区监视器电子束偏转增幅器偏转线圈鹵区心偏转线圈物镜二次电子检测器样品室样品增幅器次电子真空泵 LM,TEM和SEM Electric source Electric source 凶 Condenser le-仁)凶 Specimen obi lEnse 凶 obj Lens scanni SE Detector Specimens ∠ma CRT Opt TEM SEM SU8020的外观结构 eam monito preamplifier Beam monitor V1(Gun valve) ectron detecto Secondary Anti-contaminati electron detector exchange device Evacuated