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太阳能电泡的造
硅料
硅啶
太阳能电池板
多晶硅芯片
6.1硅
◆多晶硅锭制造
>杜邦法:SiCl4锌还原法
>三氯氢硅法(西门子法)
制作三氯氢硅(TCS
√分馏TCS达到PPb级超纯
√化学气相沉积法还原成多晶硅
硅烷法
成本和质量都比三氯氢硅法高
多怕的制造流的分类 Siemens方)
qa)醫最始的原料来(b)將矽砂原製成冶金鳗的願料
H. SieCle
Sicl.
I I
(c)用冶金毅矽原料來造d)用分翻法鍾化
氧甲( dichlorosilane,三氯矽甲烷
e)耍端华想等毅多
品矽原料
(牛萍體等毅之矽原料成品
冶金级晶原的制造了
電于花
存處理
识化料
一生冶金報多晶原科之電弧虚之示意圆
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