LCD行业-蚀刻制造作业规范 2F(DOC 7页).doc

主题： 文件编号：WE025 文件版本：A 蚀刻制造作业规范 <2> 页 次：01 / 07 本页版次：0 ＊＊＊＊＊＊ 目 录 ＊＊＊＊＊＊ 项 目 内 容 页 次 目 录 01 / 07 修 订 履 历 02 / 07 1 目 的 03 / 07 2 范 围 03 / 07 3 制 程 参 数 03 / 07 4 物 料 及 治 具 03 / 07 5 操 作 面 板 说 明 05 / 07 6 作 业 内 容 06 / 07 7 PRE-TANK 加 液 操 作 06 / 07 8 机 内 恒 温 槽 加 液 操 作 06 / 07 8 注 意 事 项 07 / 07 10 附 件 07 / 07 制 订 审 核 核 准 ＊＊＊＊＊ ＊＊＊＊＊＊ 窗体编号：FQ001A 主题： 文件编号：WE025 文件版本：A 蚀刻制造作业规范 <2> 页 次：02 / 07 本页版次：0 ＊＊＊＊＊＊ 修 订 履 历 ＊＊＊＊＊＊ 文件版本修订记录： 版本 工程变更号 生效日期 变 更 要 旨 A ISO 9001﹕2000体系改版后初次发行。 页次修订状况： 页次 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 版次 页次 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 版次 页次 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40 41 42 43 44 45 版次 页次 46 47 48 49 50 51 52 53 54 55 56 57 58 59 60 版次 页次 版次 工程变更号 变 更 要 旨 ＊＊＊＊＊ ＊＊＊＊＊＊ 窗体编号：FQ002A 主题： 文件编号：WE025 文件版本：A 蚀刻制造作业规范 <2> 页 次：03 / 07 本页版次：0 1 . 目的： 制定蚀刻制造作业标准，保证蚀刻质量 . 2 . 范围： 适用于本公司 IN－LINE 中蚀刻制造作业 . 3 . 制程参数： 3 - 1 蚀刻液 [ H+ ] 浓度：配制：4.4 + 0.2 mol / l ; 使用：4.2mol / l ～ 4.8mol / l 3 - 2 蚀刻段数与速度： 80Ω/□（含80Ω/□）以上 一段蚀刻 2300 + 250 mm / min