第六章-梁讲解材料.ppt

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第6章 压电式传感器 (有源传感器) ;6.1.1、压电效应 正压电效应(顺压电效应):某些电介质,当沿着一定方向对其施力而使它变形时,内部就产生极化现象,同时在它的一定表面上产生电荷,当外力去掉后,又重新恢复不带电状态的现象。 当作用力方向改变时,电荷极性也随着改变。; 逆压电效应(电致伸缩效应):当在电介质的极化方向施加电场,这些电介质就在一定方向上产生机械变形或机械压力,当外加电场撤去时,这些变形或应力也随之消失的现象。; 与X轴和Z轴同时垂直的Y-Y轴(垂直于正六面体的棱面)称为机械轴,该方向压电效应称横向压电效应。; 石英晶体具有压电效应,是由其内部结构决定的,其分子式为SiO2。组成石英晶体的硅离子Si4+和氧离子O2-在xy平面投影,如图(a)。 为讨论方便,将这些硅、氧离子等效为图(b)中正六边形排列。 ;Y;FX;在Y、Z方向上的分量为: (P1+P2+P3)Y=0 (P1+P2+P3)Z=0;(c) FX>0; 晶体在Y轴方向力FY作用下的情况与FX相似。当FY>0时,晶体的形变与图(b)相似;当FY<0时,则与图(c)相似。 由此可见,晶体在Y(即机械轴)方向的力FY作用下,使它在X方向产生正压电效应,在Y、Z方向则不产生压电效应。 ; 工程实际中,从石英晶体上切下一片平行六面体——晶体切片,使它的晶面分别平行于X、Y、Z轴,如图。并在垂直X轴方向两面用真空镀膜或沉银法得到电极面。(该方法分析压电效应最简单,还有许多种切法);;1)、压电常数;分别表示沿x、y、z轴方向承受单向应力。;通过实验和理论分析,对于石英晶体,只有d11 d12 d14 d25 d26不为零。;2)、居里温度; 压电晶体突出优点是性能非常稳定,介电常数和压电常数几乎不随温度变化,在20~200?C范围内温度每升高1 ?C,压电场数仅减小0.016%。 另外,它还具有自振频率高、动态性能好、机械强度高、 绝缘性能好、迟滞小、重复性好、线性范围宽等优点。;二、石英晶体的表面(束缚)电荷计算; 当石英晶片受到x方向的拉伸力时,产生的电荷q11正比于作用力Fx。; 当晶体受到y方向的拉应力时,在垂直于x轴表面上产生的电荷密度?12与应力T2成正比,即:; 当石英晶片受到y方向的拉伸力时,在yz平面上产生的电荷q12正比于作用力Fy,极性如图。产生的电荷量与晶片尺寸(长度和厚度)有关。; 当石英晶片受到z方向的拉伸力和压缩力时,都不会产生电荷。;6.1.4 、压电陶瓷的压电效应;; 压电陶瓷的极化过程与铁磁材料的极化过程极其相似。为了使压电陶瓷具有压电效应,必须进行极化处理。 在一定温度下施加一定电场(20~30KV/cm),经过2~3小时后,内部的电畴方向的极化都趋于外电场的方向,去掉外电场压电陶瓷具有剩余极化强度,就具备压电效应了。; 但是,当把电压表接到陶瓷片的两个电极上进行测量时,却无法测出陶瓷片内部存在的极化强度。 这是因为陶瓷片内的极化强度总是以电偶极矩的形式表现出来,即在陶瓷的一端出现正束缚电荷,另一端出现负束缚电荷。; 由于束缚电荷的作用,在陶瓷片的电极面上吸附了一层来自外界的自由电荷。自由电荷与陶瓷片内的束缚电荷符号相反而数量相等,它起着屏蔽和抵消陶瓷片内极化强度对外界的作用。 ; 如果在陶瓷片上加一个与极化方向平行的压力F,陶瓷片将产生压缩形变(图中虚线),片内的正、负束缚电荷之间的距离变小,极化强度也变小。 因此,原来吸附在电极上的自由电荷,有一部分被释放,而出现放电荷现象。; 当压力撤消后,陶瓷片恢复原状(这是一个膨胀过程),片内的正、负电荷之间的距离变大,极化强度也变大。 因此,电极上又吸附一部分自由电荷而出现充电现象。这种由机械效应转变为电效应,或者由机械能转变为电能的现象,就是正压电效应。 ;z;分别表示沿x、y、z轴方向承受单向应力。; 当压电陶瓷受到z方向应力时,在垂直于z轴表面上产生的电荷密度?33与应力T3成正比,即:;6.2 压电式传感器等效电路 ;; 压电传感器可等效为电压源Ua和一个电容器Ca的串联电路;也可等效为一个电荷源q和一个电容器Ca的并联电路。 ; 压电传感器在实际使用时总要与测量仪器或测量电路相连接,因此还需考虑连接电缆的等效电容Cc,放大器的输入电阻Ri , 输入电容Ci以及压电传感器的泄漏电阻Ra。 压电传感器在测量系统中的实际等效电路为:

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