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MEMS 陀螺仪发展综述及技术研究 1 2 MEMS 陀螺仪研究背景 MEMS 陀螺仪基本知识 目录 3 1 、 MEMS 陀螺仪研究背景 MEMS 陀螺仪应用领域 MEMS 陀螺仪国外研究现状 MEMS 陀螺仪基本概念 MEMS 陀螺仪国内研究现状 MEMS 陀螺仪主要性能指标 4 1.1 MEMS 陀螺仪基本概念 陀螺仪也称角速率传感 器，是用来 测量物体转动角速 度或角位移 的传感器。 按照制作原理及结构可将其 大致分为 转子陀螺仪 、 光学陀 螺仪 、 振动陀螺仪 三类。 振动式陀螺是基于柯氏效应 工作的机械陀螺，可动部件为 谐振子，谐振子的加工工艺主 要有传统工艺和微机械加工工 艺两种方式。 各种原理的陀螺仪 5 基于 微机械加工工艺 制造 的陀螺仪称为 MEMS 陀螺仪。 MEMS 陀螺仪主要有 转子式 、 振动式 和 介质类 三种。目前， MEMS 陀螺仪的主流是 振动式 的，转子式和介质类的 MEMS 陀螺较为少见。 体积微小的微机械陀螺 1.1 MEMS 陀螺仪基本概念 6 1.2 MEMS 陀螺仪主要性能指标 陀螺仪的核心技术指标是 零偏稳定性 和 角度随机游走 。按照零偏稳定性的大小 以及其它主要性能指标的不同，可将陀螺仪分为三个级别： 惯性级 、 战术级 和 速率 级 。 性能指标 惯性级 战术级 速率级 零偏漂移 (deg/h) <0.01 0.01~10 10~1000 角度随机游走系数 (deg/√h) <0.001 0.001~0.5 >0.5 标度因数非线性度（ % ） <0.001 0.001~0.1 0.1~1 满量程范围（ deg/s ） >400 >500 30~1000 带宽（ Hz ） ~100 ~100 >70 应用范围 飞机、船舶、航 天器等 航向参考系统、制 导导弹等 移动终端、汽车、 照相机等 不同级别陀螺仪的性能指标要求 7 1.3 MEMS 陀螺仪应用领域 微机械陀螺 体积小 、 功耗低、 成本低 、 抗过载能力强 、 动态范 围大 、 可集成化 等优点，可嵌入 电子、信息与智能控制系统中， 使得系统体积和成本大幅下降， 而且总体性能大幅提升，因此在 现代军事领域具有广泛的应用前 景。 在陀螺仪的传统应用领域， 国防军事应用中，高精度微机械 陀螺将可用于导弹、航空航天、 超音速飞行器等高精度需求的军 用产品中 9 1.4 MEMS 陀螺仪国外研究现状 微机械陀螺的研究始于 20 世纪 80 年代，经过几十年的研究国外相关已经比 较成熟，众多科研单位及公司如美国 Draper 实验室、 ADI 公司、 Berkeley 大学， 德国 Daimler Benz 公司、 Bosch 公司，挪威的 Sensornor ，日本 Toyota 公司，以及 土耳其、芬兰等国家， 已有商业化产品 。其中 Boeing 公司的 8mm 直径 DRG 的 最好性能为零偏重复性 0.01 o /h 、角度随机游走 0.002 o /rt-hr 。 Sensornor 公司也发 布了零偏稳定性 0.05 o /h 的产品。国外研究的 目标 是 研制零偏稳定性优于 0.01 o /h 的惯性级微机电陀螺 ，逐步取代激光陀螺和光纤陀螺等传统产品。 产品。 (a) 框架式 (b) 音叉式 Draper 实验室的微机电陀螺结构 Bosch 公司研制的轮式微陀螺结构 Michigan 大学研制的环式微陀螺结构 10 （ a ）双质量音叉式 （ b ）四质量摆式结构 （ c ）盘式谐振结构 加州大学 Irvine 分校研制的微机电陀螺结构 11 1.5 MEMS 陀螺仪国内研究现状 我国的 MEMS 技术研究工作起步较晚，但正积极开展研究，国家已经投入巨资用 于 MEMS 陀螺技术的研究。目前主要的科研单位有清华、北大、中科院上海微系统所、 东南大学、国防科大、哈工大等多家单位，经过十多年的努力，在基础理论、加工技 术和工程应用等方面的研究已取得了明显的进步。但不可否认，与国外差距仍然较大， 高性能微机械陀螺 少有商业化产品 。 （ a ）振动轮式结构 （ b ）双质量块陀螺结构 北京大学研制的微机械陀螺仪 12 （ a ）振动轮式结构 （ b ）双解耦 Z 轴体硅陀螺结构 东南大学研制的微机械陀螺仪 （ a ）振动轮式结构 （ b ）线振动解耦陀螺结构 清华大学研制的微机械陀螺仪 13 2 、 MEMS 陀螺仪基本知识 MEMS 陀螺仪分类及基本结构 MEMS 陀螺仪基本原理 MEMS 陀螺仪工艺方法 MEMS 陀螺仪制造技术难点 MEMS 陀螺仪设计流程及工具 14 2.1 MEMS 陀螺仪基本原理 微机械陀螺的基本原理是利用柯氏力进行 能量的传 递 ，将谐振器的一种振动模式激励到另一