2019-分享教案-5干涉显微镜.pdf

第五章 干涉显微镜 把光的干涉原理和显微镜分析结合起来而设计成的显微镜称为干涉显微镜。干涉 显微镜分析能显示试样表面的微小高度变化，故主要用于观察表面的微观几何外形，特 别适用于塑性变形后金属表面变形区的分析。 §5.1 干涉原理 干涉原理是以劈尖造成光波的干涉为基础的。图5.1 是劈尖干涉的示意图，图5.1a 中两块平面玻璃间从右边插入一厚度很小的纸片，即形成了一个空气劈尖。单色平行光 线a 和b 入射到劈尖时则由劈尖上下表面造成的反射光g 将是一个干涉光。若在B 点处 a 、b 两条光线的光程差正好是半波长时，则g 光消失而呈现出黑色条纹；若两者的光程 差为半波长的偶数倍时，则g 光为加强光出现明亮条纹，如图5.1b。 由于劈尖每一点的厚度是渐变的，因此一定的厚度对应着一定的亮度。每一黑条纹 （或亮条纹）处的厚度是相同的，故称为等厚条纹。 SS LL bb aa gg 暗暗 NN BB 明明  dd θθCC 22 θθ MM CC 图5.1 劈尖干涉示意图 a ）劈尖的形成 b ）等厚条纹 若相邻两条纹 （明或暗）间的距离为L ，而相邻两条纹间的光程差应是一个整波长， 则a 光线从劈尖上部射入经底部反射后再次从B 点射出时所经的光程可近似地看成2d d （d 为对应于条纹间距处的气劈厚度），即2d ＝λ。由图5.1 可知sin ，故 L  L （因θ很小故sin θ≈ θ） （5-1） 2 可见，劈尖的倾角愈小，条纹的间距愈大。 如果用金属表面代替劈尖底部的平面玻璃时，就可以进行显微干涉表面分析。若金 属表面是抛光的平整镜面，则出现平直条纹；若该表面有微量起伏，则条纹出现曲折； 材料分析方法——光学金相显微镜 1 西安工业大学讲稿纸（XI ’AN TECHNOLOGICAL UNIVERSITY ） 若表面具有台阶，则条纹出现相应的台阶，如图5.2 所示。 干涉条纹干涉条纹 干涉条纹干涉条纹  22 棱边棱边 棱边棱边 图5.2 干涉条件的形状与样品表面几何外形的关系 根据