基于金属-介质多层结构的超宽带太阳能捕获和超窄带光学传感研究.pdfVIP

摘 要 现代光电子信息技术对器件微型化和集成化的要求越来越高。超紧凑和微型 化已成为当今光电子技术发展的必然趋势。基于金属 介质复合材料的微纳结构- 展示出了许多独特的光学性能，如宽带光吸收、异常光学透射和电磁场增强等， 在光电子技术领域蕴藏着巨大的应用前景，已成为近年来的研究热点之一。在此， 我们构建了几种具有完美超宽带、超窄带光吸收/透射性能的金属-介质多层纳米 结构，并进一步探索了其在太阳能捕获和高品质光学传感领域的应用。主要包括 以下几个内容： （1）构建了一种基于耐火材料的金属-介质复合多层超宽带吸收器。该吸收 器由绝缘体-金属-绝缘体 （Insulator-Metal-Insulator，IMI）的光栅结构和金属-绝 缘体-金属 （Metal-Insulator-Metal，MIM）的膜层堆积结构叠加而成。由于导模 共振、表面等离激元以及腔模等的协同作用，该吸收器在570nm-3539nm 波段 范围内展现了近完美的光吸收且平均光吸光率超过97%。而且，该吸收器中只采 Ti Al O 用了钛 （ ）和氧化铝 （ ）两种高熔点材料，为吸收器的热稳定性提供了 2 3 很好的保障。此外，在不同偏振下，当入射角度从0°增加到50°时，超宽带吸 收率依然保持高于80%的光吸收。这些优点使得这种超宽频带近完美光吸收器太 阳能热能收集、热电元件和成像等领域蕴藏有巨大的潜力。 2 （）构建了一种基于砷化镓光栅的三层结构的宽频带吸收器。该结构由周 期性砷化镓 （GaAs）光栅顶层、GaAs 薄膜间隔层和钨 （W）膜基底组成。该吸 收器在506nm-1814nm 波段内具有宽带近完美光吸收，平均吸光率达到97%， 太阳能捕获性能优越。这种宽带吸收现象源于激发的金属表面等离激元与介质腔 2 模的共同作用。此外，该吸收器的理想短路电流高达56mA/cm 。这些特点为实 现超薄太阳能电池、太阳能收集、磁记录、超薄和耐用光电元件提供了新的思路。 3 2 （）基于上述 （）的研究结果，我们对该结构体系进行了进一步的优化设 计，构建了一种半导体光栅辅助的五层复合结构的超宽带吸收器。此器件结构是 在金属-半导体-金属膜层上叠加半导体光栅，并在光栅顶部叠加由铟锡氧化物制 成的防反射涂层。在468nm-2870nm 波段内，该吸收器的光吸收率超过95%且 理想短路电流高达61mA/cm2，这证明该吸收器具有近乎完美的太阳光捕获能力。 同时，该吸收器还表现出了很好的入射角度和偏振角度独立性。这些为实现超紧 凑高效光伏电池和热发射器提供了新思路，也为金属-介质复合多层结构更好的 发展奠定了基础。 4 （）提出了一种基于光透射现象的多频超窄带光学传感器。该结构是在半 I - - Semiconductor-Metal-Semiconductor SMS 导体 金属 半导体 （ ， ）膜的堆积层上再 叠加一层介质光栅而成。由于传导的表面等离激元、导膜共振以及腔模的的同时 作用，导致该结构的透射光谱中出现了3 个超窄共振透射谷，其最小半高宽 （Full-width athalf-maximum，FWHM）仅有5nm，折射率灵敏度 （Sensitivity， S）最高达到654nm/RIU，品质因子 （Figure ofmerit，FOM）最高达到130.8。 该结构还可用来探测亚纳米厚度的蛋白质分子层，这些为实现超微型高效传感器 和滤波器提供了新视角。 关键词：金属-介质复合多层结构；表面等离激元；宽带吸收器；传感 II Abstract Modern optoelectronic information technology requires more and more miniatu