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电子显微镜分析应用 目录 φ电子显微镜与光学显微镜的对比 φ电子显微镜分类 φ电子显微镜原理 ◆电子显微镜构成 ◆电子显微镜特点及应用 电子显微镜分布(武汉) 电子显微镜与光学显微镜的对比 电子显微镜与光学显微镜的异同点 光学显微镜 电子显微镜 照射光 光東 电子束 波长mm)长:200-750短:0003-0008 介质 空气 真空 透镜 光学透镜 电磁透镜 聚焦方式 机械聚焦 电聚焦 分辨力 02~0.1um 0.1nm 放大倍数 1,000 1,000.000 电镜分类 根据电子束和样品之间作 同,可将电镜分 为4大类 1)物体透射电子透射电 镜观察和分析样品的内部 结构 物体发射电子扫描电 观察和分析样品的表面 立体形貌 3)物体反射电子 4)物体吸收电子 电子显微镜成像原理 )光源(卤灯或汞灯) 高压电子枪 玻璃透镜 聚光镜) 样品 玻璃透镜 束偏转器 (物镜 \ 电磁 图像投到 玻透镜投影镜_凵 视屏上 目镜) 肉眼 荧光屏 光镜 透射电镜 扫描电镜 光镜、透射电镜及扫描电镜的成像光路图解 扫描电子显微镜 (SEM, Scanning Electron Microscope) ◆SEM是利用电子束在 样品表面扫描激发 电子枪 出来代表样品表面 特征的信号成像的。 电子束荧光点的亮度二样晶表面上相应点 所发出的次级电子数 主要用来作微形貌扫描 观察、显微成分分 电磁透镜次级电子信号 析。分辨率可达到 接受、 1nm,放大倍数可达 样品表面 探测器转变成光子 5×105倍。 光电倍增管转换成电压信号 显象管荧光屏 SEM成像原理 透射电子显微镜 (TEM, Transmission Electron Microscope 高压电子枪 TEM是采用透过薄膜样 品的电子束成像来显 示样品内部组织形态 高速电子束 和结构的。用于微结 构分析、微形貌观察 电磁透镜 分辨率可达到1-1nm 放大倍数可达106倍 样品 电子束发生投射 TEM成像原理 荧光屏电能转变成光能 浓淡不同的图像国像各处浓淡的不同真实反映 样品不同部位的物质结构 电子探针显微分析 (EPMA, Electron Probe Micro-Analysis) EPMA是利用聚焦的很细的电子束打在样品的微观区域,激 发出样品该区域的特征X射线,分析其X射线的波长和强度 来确定样品微观区域的化学成分。将SEM和EPMA结合起来, 则可进行显微形貌观察,同时进行微区成分分析。 入射电子 Auger电子 背散射电子样品的形貌 次电子 阴极发光 X射线成份分析 透射电子 吸收电子 电子与样品作用产生的各种信息 EPMA工作原理 扫描透射电子显微镜 (STEM, Scanning Transmission Electron Microscope) φ扫描透射电子显微镜既有透射电子显微镜又有扫描电子显 微镜的显微镜。象SEM一样,STEM用电子束在样品的表面扫 描,但又象TEM,通过电子穿透样品成像。STEM能够获得 TEM所不能获得的一些关于样品的特殊信息。STEM技术要求 较高,要非常高的真空度,并且电子学系统比TEM和SEM都 要复杂。 ◆STEM同时具有SEM和TEM的双重功能,如配上电子探针的附 件(分析电镜)则可实现对微观区域的组织形貌观察,晶 体结构鉴定及化学成分分析测试三位一体的同位分析。 电子显微镜构成 电子显微舰 光学量徵搅 电灯款出源上电子舱 电子束 聚光镜 电子邊镜 于玻璃样凸量于有支持 真空中 玻璃透候物镜}一电子透慨一 空气中[通略一直空 玻道投影电子蒸 电于束打在荧 「透镜 翼光屏上交换成 (空气中)七记录照相底片 照相胀片 真空系 电子显微镜与光学显微镜结构的对比图解