创客技术 飞秒激光加工 飞秒激光加工的优势.pptxVIP

国家级创新创业教育教学资源库激光加工技术飞秒激光加工的优势深圳职业技术学院飞秒激光加工的优势可加工的材料范围宽广可实现透明材料内部精密的三维加工能克服等离子体屏蔽，具有稳定的加工阀值，加工效率高加工热影响区小，可实现高精度的非热熔性加工加工尺度小，可实现超微细加工飞秒激光加工的优势加工尺度小，可实现超微细加工峰值功率极高横向尺寸激光波长主要是多光子过程小于聚焦光斑尺寸常规激光飞秒激光飞秒激光加工的优势加工热影响区小，可实现高精度的非热熔性加工纳秒激光加工飞秒激光加工飞秒激光加工的优势能克服等离子体屏蔽，具有稳定的加工阀值，加工效率高在等离子体临界密度达到之前，脉冲能量已结束沉积，即在等离子体向外膨胀之前，飞秒激光的辐射已结束，这样就避免了在常规激光加工中出现的等离子体屏蔽现象的发生飞秒激光加工的优势可实现透明材料内部精密的三维加工把达到烧熔阀值附近的飞秒激光聚焦到材料内部，在焦点处的功率密度超过烧熔阀值，产生多光子吸收和电离透明材料飞秒激光加工的优势可加工的材料范围宽广玻璃陶瓷金属电介质半导聚合物生物材料非常感谢您的观看主讲人：王程程大家好，本节我们学习飞秒激光加工的优势。飞秒激光加工与常规激光加工相比飞秒激光加工具有如下几个显著优势。（1）加工尺度小，可实现超微细加工。一般激光加工的横向尺寸大于激光波长，这是由于受衍射极限的限制，尽管飞秒激光的聚焦光斑尺寸也不可能小于半个波长，但飞秒激光由于峰值功率极高，与物质相互作用不是单光子过程，而主要是多光子过程。加工尺寸可以远远小于聚焦光斑尺寸，突破光束衍射极限，达到亚微米甚至纳米级。（2）加工热影响区小，可实现高精度的非热熔性加工。这里我们给出了纳秒激光加工和飞秒激光加工的SEM对比图片。从图中可以看出飞秒加工热影响区极小，几乎不对周边材料造成热损害，加工精度高。（3）能克服等离子体屏蔽，具有稳定的加工阀值，加工效率高。飞秒激光作用的脉冲时间比等离子体膨胀的时间还要短得多，因此，在等离子体临界密度达到之前，脉冲能量已结束沉积，即在等离子体向外膨胀之前，飞秒激光的辐射已结束，这样就避免了在常规激光加工中出现的等离子体屏蔽现象的发生，有利于提高飞秒激光的能量耦合效率。从而也提高了飞秒激光的加工效率。（4）可实现透明材料内部精密的三维加工。目前可以在透明材料内部精雕一些三维加工，主要是通过把达到烧熔阀值附近的飞秒激光聚焦到材料内部，在焦点处的功率密度超过烧熔阀值，产生多光子吸收和电离，使飞秒激光加工过程具有严格的空间定位能力，实现透明材料内部的任意位置的三维超精细加工。（5）可加工的材料范围宽广。飞秒激光可以加工的材料包括玻璃、陶瓷、金属、各种电介质材料、半导体、聚合物以及生物材料乃至生物组织，特别对于导热性好的易于热扩散的金属材料进行精密加工时更体现出得天独厚的优势，飞秒激光超微细加工以其独有的优势正在展示着广阔的应用前景。?好了，以上就是本节的全部内容，再见。