扫描电镜原理[文字可编辑].ppt

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扫描电镜的原理及应用 一 . 扫描电镜基本原理 ? 扫描电子显微镜 的 成像原理 : ? 是以类似电视摄影显像的方式, 利用细聚焦高能电子束在样品表面扫 描时激发出来的各种物理信号来调制成像的。 ? 早在 1935 年,德国的 Knoll 就提出了扫描电镜的工作原理。 ? 1938 年, Von Ardenne 开始进行实验研究。 ? 1942 年, Zworykin 、 Hill 制成了第一台实验室用的扫描电镜,但真正 作为商品,那是 1965 年的事。 ? 70 年代开始,扫描电镜的性能突然提高很多,其分辨率优于 20nm , 才广泛地被应用。 1 1 、扫描电镜的构造和工作原理( 1 ) 扫描电镜结构原理方框图 扫描电镜构造: 1. 电子光学系统; 2. 信号收集处理、图像显 示和记录系统; 3. 真空系统; 4. 电气系统 四个基本部分组成。 2 1 、扫描电镜的构造和工作原理( 2 ) 基本工作原理: 扫描电镜结构原理方框图 3 通过对电子枪内的钨灯丝加 -20KV 的高电压,使电子枪处 于热激发状态,在阳极的作用下,处于热激发状态的电子 枪就可以激发出电子束,这个电子束就是光源。但是刚刚 激发出的电子束束斑比较粗,大概 7-10 微米左右,不利于 清晰成像,因此,有必要对该电子束进行细化,这就是要 在样品与电子枪之间加 3 级“聚光镜”,我们这里的“聚 光镜”不是光学中应用的棱镜,而是一对对的电磁透镜, 因为,在真空状态下,磁场中高速运行的电子束会发生偏 转,我们利用这个原理对电子束进行“聚焦”约束。三个 电磁透镜中的前两个是强磁透镜,可起到把电子束光斑缩 小的作用,而第三个非对称磁场为弱磁透镜,它起到的作 用是延长焦距。布置这个末级透镜(习惯上成为物镜)的 目的在于使样品和透镜之间留有一定的空间,以便装入各 种信号探测器。扫描电子显微镜中照射到样品上的电子束 直径越小,就相当于成像单元尺寸越小,相应的分辨率就 越高。采用普通的热阴极电子枪时,扫描电子束的束径可 达到 6nm 左右。若采用六硼化镧阴极和场发射电子枪,电 子束束径可进一步缩小。在扫描线圈作用下,在样品表面 扫 描,激发出各种物理信号, 其强度随样品表面特征而 变 化。通过检测器检测信号, 并经放大,调制图像。 2 、电子与固体作用产生的信号 4 背散射电子: 入射电子束被固体样品中的原子 核反弹回来的一部分入射电子,包括 弹性背散 射电子 和 非弹性背散射电子。 弹性背散射电子 , 散射角度大于 90 度的那些入射电子,其能 量基本上或者几乎没有损失。能量可达到数万电子伏。 非弹性背散射电子 , 入射电子与样品核外电子撞击后产生的非 弹性散射,不仅方向发生改变,能量也有不同程度的损失。 能量从数十电子伏到数千电子伏。 无论弹性还是非弹性背散射电子都来源于样品的表层几百纳 米的深度范围。由于它的产额能随样品的原子序数增大而增 多,所以不仅能做形貌的分析,而且可以用来显示原子序数 衬度,定性的用作成分分析。 二次电子: 在入射电子束作用下被轰击 出来并离开样品表面的样品原子的核外 电子。是一种真空中的自由电子。 由于原子核和外层价电子间的结合能很小,因此外 层电子比较容易和原子脱离,是原子电离。又由于 入射电子的高能量,入射到样品表面时,可以产生 许多自由电子。 二次电子的能量很低,一般不超过 50 电子伏。且一 般都是在表层 5-10nm 深度范围内发射出来的,它对 样品的表面形貌十分敏感,因此,能非常有效的显 示样品的表面形貌。二次电子的产额和原子序数之 间没有明显的依赖关系,所以不能用它来进行成分 分析。 特征 X 射线 是 当样品原子的内 层电子被入射电子激发或电离时, 原子就会处于能量较高的激发状 态,此时外层电子将向内层跃迁 以填补内层电子的空缺,从而使 具有特征能量的 X 射线释放出来。 根据莫塞来定律,如果我们用 X 射线探测器测到了样品微区中存 在某一种特征波长,就可以判定 这个微区中存在着相应的元素。 3 、成像原理及信号采集及应用( 1 ) (1) 表面形貌衬度原理: 利用二次电子特性进行成像,二次电子数量和原 子序数无明显的关系,但对微区表面的几何形状十分敏感。 5 被入射电子束激发出的二次电子数量和原子序数没有明显的关系,但是二次电子对 微区表面的几何形状十分敏感。上图说明了样品表面和电子束相对位置与二次电子 产额之间的关系。入射束与样品表面法线相平行时,即图中 a ),二次电子的产额最 少。若样品倾斜了 45 度,则电子束穿入样品激发二次电子的有效深度增加了 1.414 倍, 入射电子激发表面的二次电子数量增多(黑色区域)。同理,样品倾斜了 60 度,则 有效深度增加了 2 倍,产生的二次电子数量进一步增加。 二

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