电镜教学课件.ppt

电子显微技术 中国科技大学 天文与应用物理系 轩植华 一 前言 发展简史 光学显微镜分辨率的限制 寻找波长更短的波 放大镜的放大倍率 光学显微镜放大倍率的限制 其中λ为波长，D为光瞳直径。如果简单地提高放大倍率，而不分辨细节，这样的放大镜或显微镜是没有意义的。D不能做得很大，要提高分辨率，就要设法寻找波长更短的波。 1924年法国科学家德布罗意提出波粒二象性，认为电子也是波动。 1927年，戴维孙和革末在镍单晶（111）面上观察到50eV电子的低能电子衍射； 同年G.P.汤姆孙独立地观察到铂薄膜的透射多晶电子衍射 寻找波长更短的波  对于非相对论电子， 对于相对论电子， 当加速电压U=100kV，。如果单独看衍射效应，电子波的分辨本领可以提高十万倍。这是电子显微镜的重要理论基础。 电子光学基础电子在磁场中的运动 电子在磁场中受力 短磁透镜对电子束有聚焦功能 短磁透镜对电子束有聚焦功能 匀强磁场使电子作螺旋型运动 磁场只存在于小范围内，电子在此范围内受力而偏转聚焦。实际上的磁透镜是铁壳内的通电线圈，铁壳内侧开一细槽。绝大多数磁场封闭在铁壳内，只在细槽附近有磁场“漏出” 。越靠近轴线磁场越弱，形成短磁透镜。 实际上，圆环形电磁线圈外包铁壳，铁壳内侧留有缝隙，使磁场“泄漏”，再应用极靴，使强磁场集中在轴向毫米范围内，形成短磁透镜。电子束经过短磁透镜会聚、成像，这是电子显微镜的成像机理。 短磁透镜的电子光学公式 对于轴对称磁场，应用劳伦兹力公式。在近轴条件下，忽略磁场的高次项，麦克斯维方程组的幂级数解为 表示电子轨迹的切向变化是向心的，即电子在磁场中会聚，短磁透镜是正透镜。 正透镜具有球差，所以，尽管电子波的波长只是可见光的百万分之一，从而在理论上分辨率应提高105，但由于球差影响，电子显微镜的分辨率只提高几千倍。 短磁透镜的焦距 为励磁线圈的安匝数。如果仪器的加速电压或励磁电流波动，透镜的焦距就会改变，响应成像质量。这种现象叫做色差。 * 前言 透射电镜 （TEM） 扫描电镜 （SEM） 德布罗意于1929年获得诺贝尔物理学奖 戴维孙和革末1937获得诺贝尔物理学奖 仪器方面 1932年德国科学家Knoll和Ruska制成第一台透射电子显微镜，其分辨率达到光学显微镜的分辨极限200纳米。 1947年，法国科学家Le Poole发展的选区衍射技术把电子显微像与电子衍射结合起来。 20世纪50年代起，电子探针和扫描电镜得到快速发展。 1956年，英国科学家Hirsch用透射电子显微镜观察到金属的位错，发展了动力学理论。 1978年，日本科学家桥本在碳膜上观察到单个重金属原子。 1979年，英国科学家A.Klug发展了电子显微图象计算机处理技术，把生物样品的观察提高到分子水平，推动了高分辨电子显微学的发展，并获得1982年诺贝尔化学奖。 20世纪80年代初期，美国科学家研制出扫描隧道电子显微镜，横向分辨率达到0.1纳米，纵向分辨率达到0.01纳米。 1986年的诺贝尔物理学奖授给了电镜的始祖Ruska 和扫描隧道电子显微镜的发明者美国科学家H.Rohrer和G.Binnig。 *