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Leading Physical Property Analysis of Thin-Film Materials 专注 激情 严谨 勤勉 薄膜的形成机理 ①小岛阶段—②结合阶段—③沟道阶段—④连续薄膜 小岛成核 核长大 结合 孔洞 连续膜 沟道 在薄膜的三种生长方式种，核生长型最为普遍，在 理论上也较为成熟，我们主要讨论这种类型的形成机理。 31 Leading Physical Property Analysis of Thin-Film Materials 专注 激情 严谨 勤勉 基底种类 基底又称：基片，衬底 陶瓷基底 金属基底 各种工具刀具件 玻璃基底 树脂基底 高分子基底 柔性基底 玻璃 晶圆 32 Leading Physical Property Analysis of Thin-Film Materials 专注 激情 严谨 勤勉 薄膜基底 33 Leading Physical Property Analysis of Thin-Film Materials 专注 激情 严谨 勤勉 薄膜基底 34 Leading Physical Property Analysis of Thin-Film Materials 专注 激情 严谨 勤勉 各种各样的薄膜 35 Leading Physical Property Analysis of Thin-Film Materials 专注 激情 严谨 勤勉 各种各样的薄膜 36 Leading Physical Property Analysis of Thin-Film Materials 专注 激情 严谨 勤勉 各种各样的薄膜 硅基底上的 SiO 2 薄膜 37 Leading Physical Property Analysis of Thin-Film Materials 专注 激情 严谨 勤勉 基底选择 衬底与外延膜的结构匹配：外延材料与衬底材料的晶体结 构相同或相近、晶格常数失配小、结晶性能好、缺陷密度低； 衬底与外延膜的热膨胀系数匹配：热膨胀系数的匹配非常 重要，外延膜与衬底材料在热膨胀系数上相差过大不仅可能使 外延膜质量下降，还会在器件工作过程中，由于发热而造成器 件的损坏； 衬底与外延膜的化学稳定性匹配：衬底材料要有好的化学 稳定性，在外延生长的温度和气氛中不易分解和腐蚀，不能因 为与外延膜的化学反应使外延膜质量下降； 材料制备的难易程度及成本的高低：考虑到产业化发展的 需要，衬底材料的制备要求简洁，成本不宜很高。 38 薄膜材料定义 薄膜材料制备 1 2 薄膜材料应用 3 目 录 39 Leading Physical Property Analysis of Thin-Film Materials 专注 激情 严谨 勤勉 表面改性 表面改性：在保持块体材料固有特性（例如机械强度等） 的优点的基础上，仅对表面进行加工处理，使其产生新的物理、 化学特性以及所需要功能的各种方法，统称表面改性。 表面改性的目的：使结构材料功能化，一般是通过对结构 材料进行表面处理赋予其新功能，如耐蚀、耐热、耐磨、耐氧 化、光泽性、润滑性。 按大的领域，表面改性主要用于汽车、船舶、航空及航天、 发电等能源相关的运动机械系统，以及相应的部件、装置等。 意义：表面改性不仅可以提高经济效益，而且对于节省资 源、能源，开发材料新功能，提高可靠性，实现轻薄短小化都 具有十分重要的意义。 40 薄膜材料介绍 客户服务部 陈维涛 1 薄膜材料定义 薄膜材料制备 1 2 薄膜材料应用 3 目 录 2 Leading Physical Property Analysis of Thin-Film Materials 专注 激情 严谨 勤勉 薄膜材料历史 最古老的薄膜 薄膜制备可上溯至三千 多年前的中国商代，那时我 们的祖先就已经会给陶瓷上 “釉”了。汉代发明了用铅 作助溶剂的低温铅釉。到了 唐、宋时代，中国人的彩釉 工艺达到了顶峰。釉涂层不 仅是漂亮的装饰层，而且增 加了陶瓷器的机械强度，还 使其不易污染、便于清洗。 3 Leading Physical Property Analysis of Thin-Film Materials 专注 激情 严谨 勤勉 薄膜材料历史 可能最早的纳米薄膜： 古代铜镜表面的防锈 层（纳米氧化锡薄膜） 其年代可以追溯到商 代，甚至更早。 4 Leading Physical Property Analysis of Thin-Film Materials 专注 激情 严谨 勤勉 薄膜学 薄膜的历史，要追溯到三千多年以前。 近 30 年来，真正作为一门新型的薄膜科学与技术。 目前，薄膜材料已是材料学领域中的一个重要分支， 它涉及物理、化学、电子学、冶金学等学科