半导体制程设备供应链及研发图表.ppt

TOEA 光電製程丶芈導體製程 設備供應鏈與技術研發地圖  TOEA 光電製程:1. TFT-Array段(1) 板受入前洗淨湶 洗淨設備 踐鍍機件防著板 PEP1 Dense Cleaner Photo Pre-Depo Cleaner 技鼎 A蝕刻機·鋁触刻禄 式触刻機 列車武 帆宣(擬開發) Total Pitch CD Overlay量測機 回火機 CD OVE Particle Counter CDOL Measurement 技鼎 能麒 资騰 杠宇代表該設備·響租件自國外代理或口  TOEA 1. TFT-Array段(2) 雷射修補機 雷射CvD修補機 傅機取片 CVD Laser r Laser cvd 排片/排序榜 均素、沛鑫 旭束·朋 均豪、盟立 反射率量 怏測機 Sheet Resist/ TEG Sheet Resistance 银朋美 巨量檢測機 Surface Profile 孚檢測機/覺檢 Macro/Micro 均泵·高僑 大銀、宏瀨 晶彩、由田 大銀、音騰 杠宇代表該設備·響租件自國外代理或口  1.TFT-Aray段(3)-周邊設備或其他 壓電漿清深設備 堆蛋式解包設備 巨截自動光 機零件,乾蝕刻 Plasma Clean Dense Unpack AOI System 由田 良率管理系锍 真空 chamber銲按 自動傅送系锍 Automatic Transfer 亞智(擬開 漢泰(擬開發 输送帶 拍照機 離子雲倌入機 BCEAP Convey Review oping System 羽冠 羽冠(擬開發 机宣 杠宇代表該設備·響租件自國外代理或口  1 TFT-Array段(4)零組件供應 澆珠螺稈 防菩板·銅板 铝两板 熟器 Ball Screw Backing Plate (for CVD 干附 千附 重板及網板 擰散板 EUV172光源 EUV Excimer Lamp 「附 G. Motor 線性馬幸 泉性滑轨 Linear moto Linear Guideway 宇代表該設備、響粗件自國外代理或進口  TOEA 2. TFT-Ce-FEOL段(1) P前洗淨設償 P|轉高機 P烤煜/P烤爐 P轉高後檢查機 Pre-PI Cleaner PI Inspection System 能麒 Rubbing Machine CURE OVEN 智向友 波晶脫泡機 膠脫泡機 框膠塗佈機 C/F Anneal oven Seal Dispenser 巩宣(擬開發) 杠宇代表該設備·響租件自國外代理或口  TOEA 2. TFT-Ce-FEOL段(2) 液晶注入機 Spacer Prebake 帆宣·帆宣(擬開强) 晶彩(開發) 晶彩 m Panel UV Cure 旭束 志聖 帆直(開發 框膠硬烤爐 大基板貼合後 Photo Spac 框膠塗佈機 Seal Main Cure oven 工檢查機 Seal Dispenser Photo Space 陽程 巩宣(擬開發) 沛鑫·旭車、蓟友 帆宜·陽程(擬開發 杠宇代表該設備·響租件自國外代理或口  TOEA 2. TFT-Ce-FEOL段(3) 光阻塗佈 影機 帆宜 宇代表該設備、響粗件自國外代理或進口