EDS能谱检测(教学课件).ppt

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EDS分析技术 EDS EDS可以与SEM,TEM等组合,其中SEM-EDS组合是应用最广的显微分析仪器,EDS的发展,几乎成为SEM的标配。是微区成份分析的主要手段之一。 能谱仪:EDS (Energy Dispersive Spectrometer) ?能快速、同时对各种试样的微区内Be-U的所有元素,元素定性、定量分析,几分钟即可完成。 ?对试样与探测器的几何位置要求低,可以在低倍率下获得X射线扫描、面分布结果。 ?能谱所需探针电流小:对电子束照射后易损伤的试样,例如生物试样、快离子导体试样、玻璃等损伤小。 ?检测限一般为0.1%-0.5%,中等原子序数的无重叠峰主元素的定量相误差约为2%。 能谱的特点 定性分析 X射线的能量为E=hγ h为普朗克常数,γ为光子振动频率。 不同元素发出的特征X射线具有不同频率,即具有不同能量,只要检测不同光子的能量(频率γ), 即可确定元素-定性分析。 能谱定性分析原理 定量分析 分析方法 有标样定量分析:在相同条件下,同时测量标样和试样中各元素的X射线强度,通过强度比,再经过修正后可求出各元素的百分含量。有标样分析准确度高。 2. 无标样定量分析:标样X射线强度是通过理论计算或者数据库进行定量计算。 试样中A元素特征X射线的强度IA与试样中A元素的含量成比例,所以只要在相同条件下,测出试样中A元素的X射线强度IA与标样中A元素的X射线强度I(A)比,近似等于浓度比: KA=IA/I(A)~CA/C(A) 当试样与标样的元素及含量相近时,上式基本成立,一般情况下必须进行修正才能获得试样中元素的浓度。 KA=CA/C(A)×(ZAF)A/(ZAF)(A) (ZAF)A和(ZAF)(A)分别为试样和标样的修正系数 EDS定量分析原理 ZAF定量修正 ZAF定量修正方法是最常用的一种理论修正法,一般EPMA或能谱都有ZAF定量分析程序。 Z:原子序数修正因子。(电子束散射与Z有关) A:吸收修正因子。(试样对X射线的吸收) F:荧光修正因子。(特征X射线产生二次荧光) EDS定量分析原理 半定量分析 无标样定量分析 无标样定量分析是X射线显微分析的一种快速定量方法。强度比K=IS/IStd。 表达式中IStd是标样强度,它是由纯物理计算,或用标样数据库给定的,适应于不同的实验条件。其计算精度不如有标样定量分析。 EDS的分析方法-点分析 电子束(探针)固定在试样感兴趣的点上,进行定性或定量分析。该方法准确度高,用于显微结构的成份分析,对低含量元素定量的试样,只能用点分析。 EDS的分析方法-线扫描分析 电子束沿一条分析线进行扫描时,能获得元素含量变化的线分布曲线。结果和试样形貌像对照分析,能直观地获得元素在不同相或区域内的分布。 EDS的分析方法-面分布 电子束在试样表面扫描时,元素在试样表面的分布能在屏幕上以亮度(或彩色)分布显示出来(定性分析),亮度越亮,说明元素含量越高。研究材料中杂质、相的分布和元素偏析常用此方法。面分布常常与形貌对照分析。

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