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第五章电阻式传感器
金属应变式传感器
半导体压阻应变式传感器
/ 测量电路 \
原理
电阻式传感器的基本原理将被测量的变化转换成传感器元件电阻值 的变化,再经过转换电路变成点信号输出。常用来测量力、压 力、位移、应变、扭矩、加速度等。应变式传感器基本上是利用金属 的电阻应变效应将被测量转换为电量输出的一种传感器。传感 元件有应变片、半导体膜片、电位器等。由它们分别制成了应变式传 感器、压阻式传感器、电位器式传感器等
§金属应变式传感器
5.1.1工作原理
5.1.2应变片的基本结构和测量原理
\ 5.1.3电阻应变片的主要特性
§ 5.1.1
工作原理:导体或半导体材料在外界力的作用下产生机械变形时, 其
电阻值相应发生变化,这种现象称为“应变效应 ”。设有一段长为。
设有一段长为I,截面积为A,电阻率为,电阻率为p的导体(如金属 丝),它具有的电阻为:
R=pl
(5— 1)
式中:p —电阻丝的电阻率;
I—电阻丝的长度;
A —电阻丝的截面积。 \
当它受到轴向力F而被拉伸(或压缩)时,其I、A和p均发变化,导体
的电阻随之发生变化,电阻相对变化率推导为:
对(5— 1)两端取对数得:
In R =ln p +ln I -In A
等式两边微分有:(5-2)材料的轴向线应变
等式两边微分有:
(5-2)
材料的轴向线应变
dl
£ =——
I
dA 宀 dr —=2—
A r
/ (5-3) \
在弹性范围内,金属丝受拉力时,沿轴向伸长,沿径向缩短,那
么轴向应变和径向应变的关系可表示为
dr dl
(5— 4)
□为电阻丝材料的泊松比,负号表示应变方向相反,则
学(1 + 2?)牛+虫R L p
学(1 + 2?)牛+虫
R L p
(5 — 5)
应变灵敏系数:
” dR (dL K = —— /——
s R L
” c 、 dp
= (1 + 2 #) /—
p L
= (l + 2“)+^^
£
(5— 6)
(1+ 2卩) 决定于导体几何形状发生的变化
dp{ p
s
金属导体应变灵敏系数,物理含义:(压阻效应)
金属导体应变灵敏系数,物理含义:
是单位纵向应变引起电阻的相对变化量。 是单位纵向应变引起电阻的
相对变化量
dR ” dL ” ——=匕它——=K&
R s L s
/(5-7)
或
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/ \
Ks还与敏感栅的横向效应、粘结剂及粘粘结剂及粘贴工艺等诸多因
素有关。电阻应变片灵敏系数略小于系数略小于 Ks。
§ 5.1.2
1.应变计的结构主要有丝式、箔式和半导体等三种箔式(c)半导体
1.应变计的结构
主要有丝式、箔式和半导体等三种
箔式
(c)
半导体
1—基底2 —敏感栅3 —盖层4 —引线
图 典型应变计的结构型式
基底 为保持敏感栅固定的形状、尺寸和位置,通常用粘结
剂将它固结在纸质或胶质的基底上。一般为~ 0.04mm
敏感栅 应变计中实现应变-电阻转换的敏感元件。其电阻值 一般在100 Q以上
盖层—— 用纸、胶作成覆盖在敏感栅上的保护层;起着防潮、
防蚀、防损等作用
引线—— 它起着敏感栅与测量电路之间的过渡连接和引导作 用。
丝式应变片-敏感栅材料为直径约为 0.025mm勺高电阻率的电阻应变 丝,弯成栅状电阻体,粘结在绝缘基片和覆盖片之间。
箔式应变片:利用照像制板或光刻腐蚀技术,将电阻箔材(厚度为 1
-10微米)做在绝缘基底上,制成各种形状的应变片。具有尺寸准确, 线条均匀,适合不同的测量要求,传递试件应变性能好,横向效应小, 散热性能好,允许通过的电流较大,易于批量生产等诸多优点。应用 较多,已经基本取代了丝式应变片。
2.测量原理
用应变片测量时,将其粘贴在被测对象表面上。当被测对象受力 变形时,应变片的敏感栅也随同变形,其电阻值发生相应变化, 通过转换电路转换为电压或电流的变化, 这是用来直接测量应变。 通过弹性敏感元件,将位移、力、力矩、加速度、压力等物理量 转换为应变,则可用应变片测量上述各量,而做成各种应变式传 感器。
应变片之所以应用得比较广泛,是由于它有如下的优点:
测量应变的灵敏度和精度高,性能稳定、可靠,可测,误差小于
应变片尺寸小、重量轻、结构简单、使用方便、测量速度快。测 量时对被测件的工作状态和应力分布基本上无影响。既可用于静 态测量,又可用于动态测量。
测量范围大。既可测量弹性变形,也可测量塑性变形。变形范围 可从 1%- 2% '\
适应性强。可在高温、超低温、高压、水下、强磁场以及核辐射 等恶劣环境下使用。
便于多点测量、
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