薄膜结的构与缺陷.ppt

第四章(补充〉薄膜的结构与缺陷 第一节薄膜的结构 薄膜的结构因研究的对象不同分三种类型 (1)组织结构 (2)晶体结构 (3)表面结构  薄膜的结构与缺陷 、薄膜组织结构 薄膜的组织结构是指它的结晶形态 其结构分为四种类型 (1)无定形结构 (2)多晶结构 (3)纤维结构 (4)单晶结构  薄膜的结构与缺陷 相对于块体材料来讲,比较容易制备非晶态的薄膜 这是由于薄膜的制备方法比较容易实现形成非晶态结构的 外部条件,即较高的过冷度和低的原子扩散能力  薄膜的结构与缺陷 形成无定形薄膜的工艺条件是降低吸附原子的表面扩散速率 降低表面扩散速率的方法 降低基体温度、引入反应气体和掺杂 硫化物和卤化物薄膜在基体温度低于77K时可形成无定形 薄膜 溅射沉积w、Mo、Hf、Zr、Re膜时,加入原子百分比为1% 的N2,所得的膜是非晶态 有些氧化物薄膜(如O2、ZrO2、AL2O3等,基体温度在室 温时有形成无定形薄膜的倾向  薄膜的结构与缺陷 在102~103Pa氧分压中蒸发铝、镓、铟和锡等超导薄膜 由于氧化层阻挡了晶粒生长而形成无定形薄膜 在83%ZrO2-17SiO2和6%ZrO23%MgO的掺杂薄膜中, 由于两种沉积原子尺寸的不同也可形成无定形薄膜;  薄膜的结构与缺陷 2.多晶结构 多晶结构薄膜是由若干尺寸大小不等的晶粒所组成 88的 图1-12晶过示素图及相皮的多晶体纽纵  薄膜的结构与缺陷 在薄膜形成过程中生成的小岛就具有晶体的特征(原子有规 则的排列) 思考:由众多小岛聚结形成的薄膜是单晶还是多晶薄膜? 用真空蒸发或阴极溅射法制备的薄膜,都是通过岛状结构生 长起来,必然产生许多晶粒间界形成多晶结构 在多晶薄膜中,常常出现一些块状材料未曾发现的介稳相 结构  薄膜的结构与缺陷 多晶薄膜中不同晶粒间的交界面称为晶界或晶粒间界 讨论:晶界或晶粒间界所表现出两个的特征: (1)由于晶界中晶格畸变较大,因此晶界上原子的平均能量 高于晶粒中内部原子的平均能量,它们的差值称为晶界 能。高的晶界能量表明它有自发地向低能态转化的趋势。 晶粒的长大和平直化都能减少界面面积,从而降低晶界 能量。所以只要原子有足够的动能,在它迁移时就出现 晶粒长大和晶界平直化的结果  薄膜的结构与缺陷 (2)由于晶界中原子排列不规则,其中有较多的空位。当晶 粒中有微量杂质时,因它要填入晶界中的空位,使系统 的自由能增加要比它进入晶粒内部低。所以微量杂质原 子常常富集在晶界处,杂质原子沿晶界扩散比穿过晶粒 要容易得多 多晶薄膜中晶界(晶粒间界)处原子扩散问题是薄膜物理研究 的一个重要内容