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第六章 物料切蚀加工 6.1 超声加工 超声波加工也称超声 加工。超声加工不仅 能对硬质合金、淬火 钢等金属材料进行加 工，还可以对非导体、 半导体等硬脆材料进 行加工，如玻璃、陶 瓷、石英、宝石、锗、 硅等，也可应用于清 洗、焊接、探伤、测 量、冶金等方面。 原理与特点 加工规律 基本应用 加工设备 超声加工的特点： 1 ）适合于加工各种硬、脆材料，如玻璃、陶瓷、石英、 半导体、石墨等，淬火钢、硬质合金、耐热钢也可加工。 2 ）靠磨料的冲击作用，宏观切削力很小，变形、烧伤小。 Ra=0.1- 0.1 μm，加工精度 =0.01-0.02 mm ，且可加工薄壁、 窄缝、低刚度的零件。 3 ）加工机床结构和工具均较简单，只要加工出形状与工 件相同的工具，只要上下的振动和进给就可以加工出所 需要的工件。另外操作维修也很方便。 4 ）超声加工的生产率较低，加工面积不够大，工具损耗 也大，这是超声波加工的一大缺点。 1 超声波加工原理 超声波及其特性 当声波频率超出 16000 Hz 范围称为超声波。超声波可以 在气体、液体和固体介质中传递，由于超声波频率高 、波长短、能量大，所以传播时反射、折射、共振和 损耗等更为严重。 超声波具有下列特征： 1 ）传递能量强。超声波频率很高，其能量密度可达 100 W/cm 2 ，超声波的作用是对其传播方向的物体施加 压力（即声压），传播的波的能量越大，则声压越大。 2 ）空化作用。超声波振动，在液体介质中连续地形成 压缩和稀疏区域，产生冲击和空化。 3 ）反射和折射。超声波通过不同的介质时，在界面上 发生波速突变，产生波的反射和折射。 4 ）干涉和共振。在一定的条件下会产生干涉和共振现 象。为了使弹性杆处于最大振幅共振状态，应使弹性 杆设计成半波长的整数倍，而固定弹性杆的支撑点应 该选在振动过程的波节处（没有振动的地方）。 超声波加工是利用超声振动的工具， 在具有磨料的液体介质或磨料干粉 中，产生冲击、抛磨等产生气蚀来 去除材料，或是振动的能量转化为 热量而进行加工的加工方法。 在超声加工，高频电源接在超声换 能器上，把电信号转化为垂直于工 件表面的超声机械振动，再经过变 幅杆，把振动的振幅放大到 0.05-0.1 mm 左右，以驱动工具端面作超声 振动；此时磨料由于受超声振动的 冲击，也产生振动，并冲击工件， 使之在冲击、抛磨和空化的作用下， 把材料去除。由于超声加工是基于 磨粒的局部撞击作用，因此特别适 合于硬脆材料的加工。 超声加工原理与特点 2 超声波加工设备及其组成 超声波发生器 超声波振动系统 高频发生器即超声波发生器，其 作用是将低频交流电转变为具有 一定功率输出的超声频电振荡， 以供给工具往复运动和加工工件 的能量。其基本要求是：可靠性 好、效率高、机构简单、成本低， 还要求功率和频率能在一定的范 围内连续可调，能对振动频率进 行自动跟踪和自动微调。 超声波发生器由于功率不同，有 电子管、晶闸管式和晶体管式， 大功率的以前用电子管的比较多， 但近年来逐渐被晶体管所取代。 超声波发生器分振荡级、电压放 大级、功率放大级和电源四部分 。 机床本体 工作液循环系统 磨料工作液是磨料和工作液的混合物。常用 的磨料有碳化硼、碳化硅、氧化硒或氧化铝 等；常用的工作液是水，有时用煤油或机油。 超声波加工机床的本体一般很简单，包括支 撑声学部件的机架、工作台面以及使工具以 一定压力作用在工件上的进给机构等；图 6-4 是 CSJ-2 超声波加工机床。图中声学部件安装 在一根能上下移动的导轨上，导轨由上下二 组滚动导轮定位，使导轨能灵活精密地上下 移动。工具的向下进给及对工件施加压力靠 声学部件的自重，为了能调节压力的大小， 在机床后部可以改变平衡重锤，也有采用弹 簧或液压等其它方法改变平衡砝码的重量。 3 超声波振动系统 超声波振动系统 的作用是将高频 电能转换成机械 振动能，并以波 的形式传递到工 具端面。声学部 件主要由换能器、 振幅扩大杆及工 具组成。换能器 的作用是把超声 频电振荡信号转 换为机械振动。 实现这种目的的 方法有两种，一 是压电效应，二 是磁致伸缩效应。 压 电 效 应 换 能 器 磁 致 效 应 换 能 器 石英晶体、钛酸钡、锆钇酸铅等物质在受到机械压缩或 拉伸后，其表面会产生一定的电荷，形成一定的电势； 同理，如果在表面加一定的电压，晶体会产生一定的机 械变形，这个效应称为压电效应。 石英晶体： 0.01 μm/3000 V ，钛酸钡： 20-30 倍，但效率 和机械强度差，锆钇酸铅：二者的优点；压电陶瓷片： 自振频率与厚度、上下端块质量及夹紧力成反比。 铁、钴、镍及其合金的长度能随其所处的磁场强度变化 而伸缩的现象称为磁致伸缩效应。镍：缩短 0.004% ，铁 和