润滑和硬质薄膜技术.ppt

巾国航天 10所 滑质膜技术 中国航天科技集团公司五院510所  中国 、概述 510所隶属于中国航天科技集团公司,是国内开展空间机械润滑技术研 究与空间工程应用的主要承担单位,负责我国绝大多数空间飞行器上各类 活动零部件的润滑方案设计、润滑工艺实施以及模拟在轨工况的地面验证 试验工作。自“六五”开始从事摩擦学与润滑技术研究,承担了多项国家 级重 点预研课题,开发了一系列适用于军民两用的减摩耐磨薄膜技术,解决了 空间飞行器上各种活动零部件如滚动轴承、滑动轴承、直线轴承、蜗轮-蜗 杄、滚珠-丝杠、直线导轨、齿轮传动、谐波传动等摩擦副间的、低摩擦 耐磨损应用需求,广泛的应用于我国导航、通信、载人航天(神舟系列飞 船)、探月(嫦娥系列)、高分等项目空间飞行器,目前空间活动机构部 组件的年生产能力在万件以上,研制的各类活动件产品在轨飞行成功率 100%。减摩耐磨薄膜技术除可以应用于航天特殊领域外,由于具有低摩擦 、耐磨损等性能还可用于其它如航空、汽车、兵器、纺织、机械加工、矿 产开釆等各种领域里需要减摩耐磨的零件表面改性 中国航天科技集团公司五院510所  、主要研究方向 中国 多年来,510所以军民需求为牵引,在润滑与硬质薄膜技术方面形成 了三个主要研究方向。结合承担的多项预先研究课题以及具体工程应用 突破了多项关键技术,形成了一系列面向应用工况的润滑与硬质薄膜产 品,为实现在军民领域的应用奠定了基础。 1.低摩擦自润滑材料技术 PVD润滑薄膜(溅射MoS2-Ti/Sb2O3) 2.新型硬质DLC基润滑薄膜技术 a-C:H, W-C:H, Si-C. H, CrN+ W-C:H, CrN+ W-C: H+ DLC AlTiN+ W-C: H 3.耐磨损TiN、CrN基涂层技术 TIN, TiAIN, TIN/ TIAIN, TICN, AITIN, AlCrN, CrN, Cr2N 中国航天科技集团公司五院510所  三、新型硬质DLC基薄膜技术 中国瓶天 类金刚石涂层(DLC)是一系列非晶碳膜的总称,具有低 摩擦、低內应力、高硬度等特点。在新型硬质DIC基薄膜技术 研究中,通过PVD、 PECVD等各种沉积技术的优化及组合,结 合纳米复合、多层及梯度薄膜设计思想,突破和掌握了金属基 体中间过渡层沉积技术、DLC金属掺杂量与氢含量优化及控制 技术、复杂曲面硬质DLC薄膜沉积技术、面向工况的DLC薄膜 性能控制技术等多项关键技术,实现了DLC薄膜髙结合强度、 低内应力、高硬度、低摩擦系数的统一,获得了一系列可针对 不同应用工况的DLC基薄膜 中国航天科技集团公司五院510所  三、新型硬质DLC基薄膜技术 中国 天 1.DLC基薄膜膜系及其技术指标 主要性能指标 序号名称 厚度硬度附着力摩擦 耐磨寿采用的技 术 /Lc 系数 命/ 1|acH100.15>5×105pco UBM W-C: H 1-10800-2200>1000.1-0.2>5×10 /PACVD Si-C: H 1-31500-2500>800.05-0.1>5×1 PACVD 4crN+W-c:H1-620002500|>1000.1-0.2>5×105/HYBD UBM Cr N+W 1-32000-4000>1000.05-0.15>5×10 UBM C: H+DLC /PACVD 6ATiN+W-C:H1-62000-2500>1000.1-0.2>5×10 HYBRID 中国航天科技集团公司五院510所  新型硬质DLC基薄膜技术 中国 天 2.DLC基薄膜应用领域及应用情况 1)应用领域 a)航天 空间活动部件如轴承、谐波减速器、齿轮传动副等表面 改性,显著提高其耐磨损性能,特别适用于长寿命、高精度 天线谐波驱动机构活动部件。 3 o⊙@oot 3 中国航天科技集团公司五院510所  新型硬质DLC基薄膜技术 中国 天 2.DLC基薄膜应用领域及应用情况 1)应用领域 b)汽车 泛应用于汽车发动机部件(燃料喷射系统,气阀机构, 活塞等);滑动和滚动部件(轴承套圈,滚柱);泵和压缩 机(活塞、气缸等),提高汽车零部件的工作寿命,对节能 减排、特别是二氧化碳排放指标的实现具有重要意义。 nSw 中国航天科技集团公司五院510所  新型硬质DLC基薄膜技术 中国 天 2.DLC基薄膜应用领域及应用情况 1)应用领域 c)机械加工 应用在钻头、铣刀、丝锥、刀片及各种成型刀,用于石 墨切削,各种有色金属切削(如铝合金、铜合金等)