第十三章 能谱仪与波谱仪 EDSWDS.pdf

第十三章 能谱仪与波谱仪 1 主要内容 1. 能谱仪 2. 波谱仪 3. 电子探针x射线显微分析仪 4. 能谱仪与波谱仪的特点 5. 微区成分分析方法和应用 2 电子的非弹性散射 核外电子与入射电子的相互碰撞几乎全是非弹性散射，入射电子损失能 量，大部分转变为热能，还可产生以下机制： 特征X射线 高能电子束原子内层(K层)原子电 离 ( 电子逸出，形成空穴)外层向下跃 迁发射特征X射线 1 莫塞莱定律 k =⋅ (z －σ ) λ 成分分析-EDS/WDS 试样在电子束作用下产生特征x射线，具有元 素固有的能量和波长，将他们展开成谱线后，根据 其能量或波长就可以确定元素的种类，根据谱线的 强度就可以确定其含量。 有两种展谱方法： x射线能量色散谱法，相应的仪器叫x射线能量 色散谱仪，简称能谱仪 （EDS: X-ray Energy Dispersive Spectrometer） x射线波长色散谱法，相应的仪器叫x射线波长 色散谱仪，简称波谱仪 （WDS: X-ray Wavelength Dispersive Spectrometer) 4 一能谱仪 探测系统 放大系统 分析展谱系统 计算输出系统 5 1、工作原理 如图所示，能谱仪采用Si(Li)晶体作为探测器，当能量为 ∆E 的X光子进入检测器后，将激发N个电子-空穴对，产生一 个电子-空穴对所需的能量 为ε ，则X光子能量为 ∆E = Nε 只要检测出电子- 空穴对的数 目，就可计算出X光子的能量 再利用多道脉冲高度分析器分 类，绘制出按能量分散的谱图 能谱仪工作原理图 7 Si(Li)检测器 能 谱 仪 探 头 Si （Li）固体探测器 能量分散谱仪原理 • X光与Si(Li)晶体相互作用产生一个电子-空穴对所需