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论未来的光机电一体化科学仪器和装置 论未来的光机电一体化科学仪器与装置 1 前言 60 年代半导体激光器的问世 ,与 70 年代低损耗光纤的开发为转机 ,光电产品与光机电一 体化仪器得到飞速发展。 特别就是日本。 在 80 年代初就提出。 2l 世纪将就是光技术的世纪。 在 l98O 年成立了日本光产业技术振兴协会 (OITDA) 。 1987 年 1 月将光学技术通信杂志改为光技术通信 杂志 9o 年代出版光电子学 (Optronics) 杂志。据统计日本光电产业 1981 年产值为 1 600 亿日元 ,到 1993 年飞速扩大到 37 850 亿日 元。 增加了 24 倍。这就是一个朝气蓬勃的高科技领域 美国认为。 光电技术就是掌握将来信 息时代的关键。 机电一体化仪表 (mechatronics) 就是精密仪器中采用了电子技术 ,使仪器性能大大提高 ,效 率、附加值大为提高。 光机电一体化仪器 (Optomechatronics) 就是光学、机械、电子三个领域的融合 -使仪器的 性能更加提高。随着激光、光纤、微电子、计算机、高分子化学、软件等技术的发展 ,光机 电一体化仪器将层出不穷。制造光机电一体化仪器的企业 ,将不局限于原来的光学行业。而 扩大到其她各行各业。 我们对于任何产品都可分为开发、摇篮。 长成、 成熟四个阶段。 现将国内外许多公司竟 将开发的。处于开发期的一些光机电一体化的现代科学仪器等领域的仪器与装置简单介绍如下。 现代科学仪器与装置 2、 1 原子力显散镜 (AFM) 现代科学仪器 1996 3 如果原子之问接近到 Inm( 纳米 )时 ,那么 范蒋瓦尔斯力与静电力等将起作用 这时在金箔制成的悬臂的前端安装上金刚石。在样品表 面上扫描 ,可测出悬臂的挠度。来求出表面的形状。可做成显微镜。这在晶体的观察、摩擦 研究等领域将产生威力 2、 2 x 线显徽镜因为显微镜的最小分辨距离 ,随着波长的缩短而减少 的也就就是波长缩短 ,显微镜的分辨率将增大。如果用短波长的 x 线作为光源 ,来做显微镜的 话。那么光学显微镜的分辨率将提高 10 倍左右 如果一般显微镜为 l 500 倍 ,那么可以高达 l 万 5 干倍 在这种 x 线显傲镜中有利用波带板与反射镜的成象型 x 线显微镜与在试样上。用 x 线的斑点扫描的 x 线扫描显微镜 2、3 半导体工艺应用加工装置随着信息通信仪器与家电 产品的小型化。机构也要求小型化。在半导体工艺应用加工装置中 ,要应用蚀刻与平印技术。 在微型机械加工与微细图案高精度加工装置中应用光机电一体化产品就成了可能。 这种一体 化装置弓 1 人注目。 2、4 光电平印装置集成电路图样晒舨时 ,作为光源采用受激准分子激光器。在掩模基板 上相位移动 180。后利用光振幅干涉。互相抵消产生零的部分 ,可以转印出高对比的图案 2、 5 光化学气相沉积 (CVD) 装置这就是用紫外线与激光照射时 ,在原料气体中 ,产生游离。在低 温下形成薄膜的装置。现在就是在研究中 ,将会早期实用化。 2、 6 三维显示利用全息技术的动态图象的三维显示 ,令人注目 特别就是利甩这种技术 的全息电影与全息电视的展开有很大希望 2、7 平视显示器飞机的领航员与汽车驾驶员前进中 ,如实观察前方时。还要能读取各种 仪器的显示 这就是利用全息图的特殊分束装置 今后也许会在汽车上得到应用 计量仪器与传感器 在这个领域有四个方面 1 人注目 ,那就就是波导型传感器、纳米级计量及控制、半导体激光计量、在线加工计量。 论未来的光机电一体化科学仪器和装置 3、 1 波导型传感器目前国际上光纤传感器在温度、压力、振动、变位等许多计量传感 器中已经进行了实用化研究 作为将来的技术 ,在基底上形成的波导元件的研究弓 f 人注且。 波导元件分成两类 ,一类就是在基板的厚度方向上封人光的平板型波导 ,另一类就是在基板的 横向封人光的淘漕型波导 在平板型波导元件中。可以内含有光栅、透镜、可以应用于集成 型拾光器、光谱仪与检偏镜。淘漕型波导中由于光在纵、横两个方向封人 ,波面信息消失。 这种沟漕型波导可用于不需要波面信息的多普勒速度计、激光扫描微分干涉显微镜等。 3、 2 纳米级计在纳米级计量中 ,有平印线宽测定中位置重合精度为 4rim 的光外差检出 系统以及用原子 R 度为基准的晶格 (即硅的完美的晶体 )切出的三块平行晶板制成的 x 线干涉 仪。可以进行 ^ 级(1^=0 、1 纳米或 =10 。米 )的超高精度的横向变位测定。 3 3 半导体激光计量在半导体激光计量中 ,有相位移干涉仪与频率调制干涉仪等 =所谓 相位移干涉仪就是在双光束干涉的 2 个光束之间。 可 切换成 3 个等级 ,产生柑位差来测定光