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MEDICI 的使用简介 第五章 MEDICI 的使用简介 § 5 －1 MEDICI 的使用 1 登陆 请使用自己的帐号登陆到 3 。 进入系统后 ,请进入目录 /export/home/avant/bin 如果用户是从 PC 机上登录的，应确保在登录前已经运行了 EXCEED （该程序可以 使工作站上的图形输出在 PC 机上可见） ，在登陆后应接着运行命令（这个命令使得程序结 果输出在指定的 PC 机上）： setenv DISPLAY 本机 IP ：0.0 2 运行 MEDICI 步骤如下： 将所有的语句写在一个文本文件中， 在运行命令 medici 后系统将提 示是否输入文件名，此时可以将文件名输入。或者直接将文件名作为参数和 medici 命令一起运行如下： medici /export/home/avant/public/study.txt 回车 § 5 －2 关于 MEDICI 的概述 关于 MEDICI 语法的详细描述请参阅使用手册 （Manule.pdf ），在该手册中有几种不同 类型结构的例子（如 MOS 和 NPN ），请结合例子来准确理解语句的用途。 一． MEDICI 的功能简介 Medici 是先驱（ AVANT ！）公司的一个用来进行二维器件模拟的软件，它对势能 场和载流子的二维分布建模，通过解泊松方程和电子、空穴的电流连续性等方程来获 取特定偏置下的电学特性。用该软件可以对双极型、 MOS 型等半导体器件进行模拟， 这个程序通过解二极管和双极型三极管以及和双载流子有关的电流效应 （诸如闩锁效 应）的电流连续性方程和泊松方程来分析器件。 Medici 也能分析单载流子起主要作用 的器件，例如： MOSFET ，JFET ， MESFET 。另外， MEDICI 还可以被用来分析器件 在瞬态情况下的变化。在亚微米器件模拟中， MEDICI 通过联解电子和空穴的能量平 衡和其他的器件方程，可以对深亚微米的器件进行模拟。像热载流子和速度过冲等效 应在 MEDICI 中都已经考虑了，并能够对他们的影响进行分析。 二． MEDICI 的一些特性 网格（ GRID ） 在 MEDICI 使用了非均匀的三角形网格，可以处理具有平面和非平面表面的特殊 器件，并且能够根据电势或杂质分布的情况自动进行优化。电极可以被放在器件结构 中的任何地方。 杂质分布的读入 杂质的分布可以通过 MEDICI 的函数从 AVANT ！的其他工艺建模软件如： TMA SUPREM3 和 SUPREM4 或者是包含杂质分布的文本文件中获得，也可以在文本文件 中描述。 1 MEDICI 的使用简介 物理模型 为 了 使 模 拟 的 结 果 精 确， 下 列 模 型 都 可 以 被 考虑 进 来 ： 载 流 子 的 复