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中华人民共和国教育行业标准
JY/T 0584-2020
代替JYIT 010 1996
扫描电子显微镜分析方法通则
General rules of analytical methods for scanning electron microscope
2020-09-29 发布 2020-12-01 实施
中华人民共和国教育部
发布
JY/T 0584-2020
目次
前言………………皿
1 范围…”…………”……”…·…… 1
2 规范性引用文件………·………………”…. 1
3 术语和定义……………”………””…. 1
4 分析方法原理…………………”… 3
5 环境条件指标…”…………………… 6
6 仪器……“…·……”… 6
7 样品…“………”………·……”…… 8
8 分析测试…………………·…………… 9
9 结果报告……………………………. 10
10 仪器维护…··……”………. 11
11 安全注意事项…………·………… 11
参考文献………………” 12
I
JY/T 0584-2020
前 言
本标准按照 GB/T 1.1 2009 给出的规则起草。
本标准代替JY/T 010-1996《分析型扫描电子显微镜方法通则》，与JY/T 010-1996 相比，除编辑
性修改外主要技术变化如下·
一一修改了标准的适用范围s
一一增加了规范性引用文件（见第2 章〉；
增加了术语和定义中“加速电压”、“工作距离气“像散”、“能谱分辨率飞“电子背散射衍射气“透
射电子”、“环境扫描电镜”和“阴极荧光”的描述（见第 3 章〕 g
一一修改并增加了“分析方法原理”部分的相关内容（见第4 章h
一一增加了“电子背散射衍射仪”（见 6.2.5.2）和“阴极荧光系统”（见 6.2.5.3);
一一增加了“能谱测试样品的制备”（见 7.3.2 ）和“电子背散射衍射样品的制备”（见 7.3.3);
一一增加了“仪器维护”（见第 10 章刘
修改了“安全注意事项”（见第 11 章）。
本标准由中华人民共和国教育部提出。
本标准由全国教育装备标准化技术委员会化学分技术委员会（SAC/TC 125/SC 5 ）归口，
本标准起草单位g 天津大学、华南理工大学、扬州大学、苏州大学、哈尔滨工业大学。
本标准主要起草人g 姚啡、尹诗衡、周卫东、高伟健、魏大庆。
本标准所代替标准的历次版本发布情况为＝
JY/T 010 1996o
ill
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