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最新整理超精密机械加工技术发展及应用 超精密机械加工技术作为微光学元件的一种制造方法，具有很多其他传 统方法所不具有的优点。本文回顾了超精密机械加工技术的发展， 展望了其在微 光学元件加工中的应用潜力。 1微光学概述 1.1定义与名称 微光学是一门届于多门前沿学科交义领域的新兴科学。 微光学借助于微电子 工业技术的最新研究成果，是国际上最前沿研究方向之一，并具有广泛的应用前 途。微光学元件（MOP,指面形精度可达业微米级，表面粗糙度可达纳米级的自 光学曲面及微结构光学元件。自 光学曲面包括有回转轴的回转非球面（如抛物 面、渐开面等），和没有任何对称轴的非回转非球面，如Zernike像差方程曲面。 微结构是指具有特定功能的微小表面拓扑形状，如凹槽、微透镜阵列等，如图 1 所示（图1略）的微金字塔结构表面。这些结构决定了对光线的反射，透射或衍 射性能，便于光学设计者优化光学系统，减轻重量，缩小体积。典型微光学元件 如全息透镜、衍射光学元件（DOE和梯度折射率透镜等，将这些微光学元件应 用在各种光电子仪器中，可以使光电子仪器及其零部件更加小型化、 阵列化和集 成化。 1.2微光学元件的应用 微光学元件是制造小型光电子系统的关键元件，它具有体积小、质量轻、造 价低等优点，并且能够实现普通光学元件难以实现的微小、阵列、集成、成像和 波面转换等新功能。随着系统小型化不断的成为一种趋势，几乎在所有的工程应 用领域中,无论是现代国防科学技术领域， 还是普通的工业领域的应用前景。 军 用方面，西方国家在70年代以后研制和生产的军用光电系统，如军用激光装置、 热成像装置、微光夜视头盔、红外扫描装置、导弹引导头和各种变焦镜头，均已 在不同程度上采用了非球面光学零件。在一般民用光电系统方面，自 非球面零 件可以大量地应用到各种光电成像系统中。如飞机中提供飞行信息的显示系统； 摄像机的取景器、变焦镜头；红外广角地平仪中的错透镜；录像、录音用显微物 镜读出头；医疗诊断用的间接眼底镜，内窥镜，渐进镜片等。微结构光学元件应 用更是广泛，如光纤连接器中的微槽结构，液晶显示屏的微透镜阵列，及用于激 光扫描的F-theta镜片，激光头的分光器等，这些微结构光学元件在很多我们日 常使用的产品中都有应用，比如 xxxx、掌上电脑、CD和DVD^o 1.3微光学元件加工方法 于受应用需求的驱动，对微光学元件加工技术的研究也在不断深入，出现 了多种现代加工技术，如电子束写技术、激光束写技术、光刻技术、蚀刻技术、 LIGA技术，复制技术和镀膜技术等，其中最为成熟的技术是蚀刻技术和 LIGA技 术。这些技术基本都是从微电子元器件的微细加工技术发展而来， 但与电子原件 不同，三维成型精度和装配精度对光学元件来说是至关重要的， 将会直接影响其 性能，因此这些方法各自都有它自身的缺陷和使用的局限性。如 于视场深度的 限制，光刻技术仅限于二微结构和小深宽比三维结构的加工； 采用牺牲层蚀刻技 术，虽然可以实现准三维加工，但易使材料产生内应力，影响最终的机械性能， 且设备造价非常昂贵；LIGA技术利用的高准直度的X射线光源，一般要通过同 步辐射加速器得到，造价比光刻设备还要高许多，一般实验室和企业都很难负担 得起；电子束写技术能够加工纳米级的精密结构，但效率低，难以进行批量生产。 复制技术，包括热压成型法、模压成型法和注射成型法等，是一种适于批量生产 的低成本技术，但要求其模具具有较高精度和耐用性。 微光学元件的另一加工方法是超精密机械加工技术。 最近“财富”杂志上有 这样一句话：“超精密加工技术对光学元件的作用犹如当初集成电路对电子元件 的作用”。这句话虽然不无夸张，却说明了用超精密机械加工技术进行微光学元 件的加工已经引起人们极大的重视。超精密机械加工技术在微光学元件加工中的 应用将在下一节详细论述。