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GE/GM50A MFC GUI软件使用指南
GE/GM50A除了通讯端口外,还配有一个EtherNet通讯口
GE/GM50A 通讯端口
GE/GM50A EtherNet通讯口
GE/GM50A MFC的GUI软件是内建在MFC之中,PC不需要安装特殊的软件,(PC需要安装 GE/GM50A MFC的GUI软件是内建在MFC之中,PC不需要安装特殊的软件,(PC需要安装
JAVE软件以显示图形。 在使用GE/GM50A MFC的GUI软件前,用一根网线连接MFC和JAVE软件以显示图形。 在使用GE/GM50A MFC的GUI软件前,用一根网线连接MFC和
PC,设置PC的TCP/IP地址
PC,设置PC的TCP/IP地址
电脑端的IP地址设置(Windows XP)
不同于MFC的IP地址
与MFC的IP地址一致
电脑设置:
1。系统装软件JAVA
2。TCP/IP 设置如图。
3。需要一根网线
电脑端的IP地址设置(Windows 7)
不同于MFC的IP地址
与MFC的IP地址一致
在浏览器的地址栏键入MFC的IP地址(默认:192.168.2.155),得到如图的屏幕。
GE/GM50A MFC GUI软件 – Configuration页
转到Configuration页,键入密码“config”,然后点“Change Setting”
config
GE/GM50A MFC GUI软件 – Configuration页
键入密码后,Configuration页如图,显示出更多的信息。这是可更改MFC的IP地址。
显示IP地址,若要修改,1)键入新的地址
2)点“Submit” 显示当前固件的版本,升级固件
MFC归零
更改进入GUI软件的密码
GE/GM50A MFC GUI软件 – Divice页
转到Device页,显示MFC的基本信息,气体的选择,满量程的选择
MFC满量程的修改
当前气体的选择
当前气体下可选择的最小满量程
修改满量程,然后点“SET”
当前气体下可选择的最大满量程
MFC入口近似压力,有助于相应速度
显示MFC基本信息,诸如部件号、序列号
GE/GM50A MFC GUI软件 – Divice页
建立一个新气体
1
1) 点下拉菜
单,选择一个气
体。如:选择
“39:SiH4”。
若所需的气体在
下拉菜单中没有
列出,联系
MKS, 升级固件
GE/GM50A MFC GUI软件 – Divice页
建立一个新气体
2
2) 点下拉菜
单,选择一个空
白的“NOGAS”
GE/GM50A MFC GUI软件 – Divice页
建立一个新气体
3
3) 点“Submit”
键,待数分钟
后,新的气体将
被建立
GE/GM50A MFC GUI软件 – Divice页
建立一个新气体
新气体建立后,就可以在“Selected
Gas”中选择。选择后点“Set”
GE/GM50A MFC GUI软件 – Divice页
MFC满量程的修改
新气体选择后,由于不同的气体的
GCF不同,其满量程范围也有所不同
新气体下可选择的最小满量程
修改满量程,然后点“Set”
新气体下可选择的最大满量程
GE/GM50A MFC GUI软件 – Plot页
转到Plot页,可以设置流量、显示流量设置值、流量实际值、阀的驱动电流、温度等信息。
设置流量,点“Submit”
设置MFC入口压力(可选)
按住“Ctrl”键,
选择图示参数
选择采样速率
点“Start”开始采样
重选Y轴标尺
重选X轴标尺
GE/GM50A MFC GUI软件 – Plot页
转到Plot页,可以设置流量、显示流量设置值、流量实际值、阀的驱动电流、温度等信息。
设置流量,点“Submit”
设置MFC入口压力(可选)
选择采样速率
采样后
点“Stop”停止采样
重选Y轴标尺
重选X轴标尺
存储数据
GE/GM50A MFC GUI软件 – RS-485页
转到RS-485 通讯页,可以查看和修改RS-485 波特率和地址。
RS-485 波特率修改,修改后点“Submit”键。
RS-485 地址修改,修改后点“Submit”键。
GE/GM50A MFC GUI软件 – Diagnostics页
转到Diagnostics页,可以做MFC功能诊断。
GE/GM50A MFC GUI软件 – Divice页
上述说明是基于RS-485 通讯的GE/GM50A。对于DeviceNet通讯的GEGM50A,基本等同于RS-485 除了本页和下页外,这里说明不同处。对于Device页,增加了DeviceNet Status信息
显示MFC基本信息,诸如部件号、序列号 显示MFCDNet通讯信息,诸如地址、波特率
GE/GM50A
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