mks流量计 软件使用指南.docxVIP

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GE/GM50A MFC GUI软件使用指南 GE/GM50A除了通讯端口外,还配有一个EtherNet通讯口 GE/GM50A 通讯端口 GE/GM50A EtherNet通讯口 GE/GM50A MFC的GUI软件是内建在MFC之中,PC不需要安装特殊的软件,(PC需要安装 GE/GM50A MFC的GUI软件是内建在MFC之中,PC不需要安装特殊的软件,(PC需要安装 JAVE软件以显示图形。 在使用GE/GM50A MFC的GUI软件前,用一根网线连接MFC和JAVE软件以显示图形。 在使用GE/GM50A MFC的GUI软件前,用一根网线连接MFC和 PC,设置PC的TCP/IP地址 PC,设置PC的TCP/IP地址 电脑端的IP地址设置(Windows XP) 不同于MFC的IP地址 与MFC的IP地址一致 电脑设置: 1。系统装软件JAVA 2。TCP/IP 设置如图。 3。需要一根网线 电脑端的IP地址设置(Windows 7) 不同于MFC的IP地址 与MFC的IP地址一致 在浏览器的地址栏键入MFC的IP地址(默认:192.168.2.155),得到如图的屏幕。 GE/GM50A MFC GUI软件 – Configuration页 转到Configuration页,键入密码“config”,然后点“Change Setting” config GE/GM50A MFC GUI软件 – Configuration页 键入密码后,Configuration页如图,显示出更多的信息。这是可更改MFC的IP地址。 显示IP地址,若要修改,1)键入新的地址 2)点“Submit” 显示当前固件的版本,升级固件 MFC归零 更改进入GUI软件的密码 GE/GM50A MFC GUI软件 – Divice页 转到Device页,显示MFC的基本信息,气体的选择,满量程的选择 MFC满量程的修改 当前气体的选择 当前气体下可选择的最小满量程 修改满量程,然后点“SET” 当前气体下可选择的最大满量程 MFC入口近似压力,有助于相应速度 显示MFC基本信息,诸如部件号、序列号 GE/GM50A MFC GUI软件 – Divice页 建立一个新气体 1 1) 点下拉菜 单,选择一个气 体。如:选择 “39:SiH4”。 若所需的气体在 下拉菜单中没有 列出,联系 MKS, 升级固件 GE/GM50A MFC GUI软件 – Divice页 建立一个新气体 2 2) 点下拉菜 单,选择一个空 白的“NOGAS” GE/GM50A MFC GUI软件 – Divice页 建立一个新气体 3 3) 点“Submit” 键,待数分钟 后,新的气体将 被建立 GE/GM50A MFC GUI软件 – Divice页 建立一个新气体 新气体建立后,就可以在“Selected Gas”中选择。选择后点“Set” GE/GM50A MFC GUI软件 – Divice页 MFC满量程的修改 新气体选择后,由于不同的气体的 GCF不同,其满量程范围也有所不同 新气体下可选择的最小满量程 修改满量程,然后点“Set” 新气体下可选择的最大满量程 GE/GM50A MFC GUI软件 – Plot页 转到Plot页,可以设置流量、显示流量设置值、流量实际值、阀的驱动电流、温度等信息。 设置流量,点“Submit” 设置MFC入口压力(可选) 按住“Ctrl”键, 选择图示参数 选择采样速率 点“Start”开始采样 重选Y轴标尺 重选X轴标尺 GE/GM50A MFC GUI软件 – Plot页 转到Plot页,可以设置流量、显示流量设置值、流量实际值、阀的驱动电流、温度等信息。 设置流量,点“Submit” 设置MFC入口压力(可选) 选择采样速率 采样后 点“Stop”停止采样 重选Y轴标尺 重选X轴标尺 存储数据 GE/GM50A MFC GUI软件 – RS-485页 转到RS-485 通讯页,可以查看和修改RS-485 波特率和地址。 RS-485 波特率修改,修改后点“Submit”键。 RS-485 地址修改,修改后点“Submit”键。 GE/GM50A MFC GUI软件 – Diagnostics页 转到Diagnostics页,可以做MFC功能诊断。 GE/GM50A MFC GUI软件 – Divice页 上述说明是基于RS-485 通讯的GE/GM50A。对于DeviceNet通讯的GEGM50A,基本等同于RS-485 除了本页和下页外,这里说明不同处。对于Device页,增加了DeviceNet Status信息 显示MFC基本信息,诸如部件号、序列号 显示MFCDNet通讯信息,诸如地址、波特率 GE/GM50A

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