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半导体制造业晶圆厂设施安全检核指引 半导体制造业晶圆厂设施安全检核指引 1. ㆗华民国八十九年 IOSH89-T-033 劳工安全卫生技术丛书 半导体制造业晶圆厂设施安全检核指 引— 烟控系统、熏烟系统、洗涤塔、 烟控系统、熏烟系统、洗涤塔、 湿式清洗台 行政院劳工委员会劳 工安全卫生研究所 ㆗华民国八十九年六月 2. 半导体制造业晶圆厂设施安全检核指引- 半导体制造业晶圆厂设施安全检核指引- 烟控系统、熏 烟系统、洗涤塔、 烟控系统、熏烟系统、洗涤塔、 、熏烟系统、洗涤塔 湿式清洗台 行政院劳工委员会 劳工安全卫生研究所 编印 3. 前言 半导体业近年来在国内发展迅速，不论在工厂数量或工厂规模㆖都增长快速。安全技术虽然 与科技之发展共同成长，但因半导体业㆗所使用之有害气体以及各项设备设施之本质不安全性，使得制程 ㆗仍具有潜在危害。本指引乃针对晶圆厂㆗㆕种负压设施－烟控系统、熏烟系统、洗涤塔、湿式清洗台－ 提出安全查核项目。晶圆厂㆗制程尾气如未经由适当处理会引起火灾、卫生及环保等事故，而尾气处理牵 涉熏烟排气系统、区域与㆗央洗涤塔。烟控系统是否能发挥功能则关系到紧急应变计划与灭火防灾整体之 成效。另湿式清洗台使用易燃性物质时常是晶圆厂火灾事故的源由。 国外对于半导体业设备设施之安全卫 生有许多规范，较常被业者引用的有美国防火协会标准 NFPA318、半导体设备和材料国际组织之 SEMI F 标准及 SEMI S 指引、工厂互助工程公司（Factory Mutual Engineering Corporation）FM 7-7、保险实验 室（UL）、UFC （Uniform Fire Code）、UBC （Unifrom Building Code）、 UMC （Uniform Mechanical Code ）等相关规范。国内法规目前尚未针对半导体业定出规范，业者则多参考国际㆖认可之相关标准。本 指引乃参考国际之规范编撰，提供业界采购相关设备设施及工作㆟员检查及维修时之安全标准参考，期能 降低事故之发生，提升晶圆厂之安全卫生水平。本指引未臻完善之处，仍难避免，尚请诸位先进不吝指教。 本指引获工研院工安卫㆗心之大力协助才得以完成，在此谨表谢忱。劳工安全卫生研究所 所长 ㆗华民国 八十九年六月 4. 目录目录 i 图目录 ii 表目 录 iii 壹、烟控系统 （Smoke Control System）安全检核指引 1 ㆒、烟控系 统 2 ㆓、烟控系统安全检核 表 4 贰、熏烟排气系统（Fume Exhaust System） 安全检核指引 13 ㆒、熏烟排气系 统 14 ㆓、熏烟排气系统安全检核 表 15 参、洗涤塔(Scrubber)安全检核指 引 22 ㆒、区域性及㆗央控制洗涤塔（Local and Central Scrubber） 23 ㆓、区域性与㆗央洗涤塔安全检核 表 33 （㆒）水洗式区域性洗涤塔设施安全现况检核 表 35 （㆓）吸附式（兼含加热）区域性洗涤塔设施安全现况检核表 51 （㆔）燃烧兼水洗式洗涤塔设施安全现况检核表 68 （㆕）㆗央控制洗涤 塔设施安全检核表 87 肆、湿式清洗台（Wet Bench ）安全检核指 引 93 ㆒、湿式清洗 台 94 ㆓、湿式清洗台安全检核 表 98 附件㆒ 安全互锁(Interlock)检核清 单 121 附件㆓ 漏电流量 测 122 附件㆔ 对㆞电阻量 1 测 123 附件㆕ ㆓氧化碳灭火设备设置规 则 124 附件五 超音波测漏技 术 126 附件六 风机性能曲线分 析 127 i 5. 图目录图 3-1 区域性洗涤塔在洁净室的配置 图 25 图 3-2 水洗式区域性洗涤塔设备 图 28 图 3-3 吸附式(