tfc膜层设计软件使用指南一二.docx

EnYironmert 1 EnYironmert 1 红光：620nm~760nm 绿光：490nm~580nm 蓝光：430nm~450nm 1环境设置 Ed止 Environment Coati ng name: unti tied OK Cancel Analysis Pararneter^,,. 2膜层公式输入，以长波通为例讲（也可以不采用具体公式， 用傻瓜式优化的方法，后面再讲） 二liter ^tack Formula Enter the Formula. The substrate is to the left oF the First layer. (Q5UHa.a_n5 公式法 Mofteiial Thicknesr Optimise? Group J阡 r r r 2d TIIO^ SI02 1.000 qw 1.003 qw fYes F | — — P 1 1 G pnerate Lasers Cancel Clear Formule Print I 得到原始膜层特性如下，短波端已满足要求，长波段需要进行进一步优化, 经过一系列探索和尝试才能得到目标值 L^T riluminsnt: 1IMITE Medium- GLASSSubatrace: *UiSS4 5.0 ■j riluminsnt: 1IMITE Medium- GLASS Subatrace: *UiSS 4 5.0 ■j E70.0 P ZjLit : ■2LASS rzLrst Surfa亡亡：庁匚匸口！： i 口鼻艺旦弋电艮亡总, Polariaationi 400 4SD 500 5SD €00 700 7S0 3优化目标参数设定 Modify》Target-Discrete 》opti ons 》Gen erate Targets 4 Generate Targets 选项卡的填写【如图】 ?取样点间隔默认是 10,越小取样密度越大，可以取小一点当不能满足要求时。 ?在填写Target时要注意自己前面填写的参数目标是透射还是反射，比如对于长波通 LPF,下 面插图的400?590nm的波段低透射率就填写错了。应该是透射率小于目标值，如 3%。 ?目标参数可以不断添加，可以在 Gen erate Targets 的表格中看到自己设定的参数目标。注意 二次添加时不要勾选覆盖前面的参数；如图的左下角。  |45QNunbei of 祐 ioet 就current taraeh757BTA：nfvP■15 096D450-96LDrumbei M dr^ierf. bsraen ydel- thmugh:* TsTgets - Di screte修改图像显示参数可以双击图，得到下面的选项框帀』Inlcrfij^IF-IT内■74 0En_cr T angc^ IrfoimAtion；IntenJf Phase：优化目标段一段趣；所以可队不断进入该选顶卡填写目标 心爾此时记任三能再覆盖荊面~ Ini”击期Rell/T ran:PolaiEarion- |45Q Nunbei of 祐 ioet 就 current taraeh 75 7B TA ：n fv P ■15 0 96D 450 -96LD rumbei M dr^ierf. bsraen y del- thmugh :* TsTgets - Di screte 修改图像显示参数可以双击图，得到下面的选项框 帀』 Inlcrfij^ IF-IT内 ■74 0 En_cr T angc^ IrfoimAtion； IntenJf Phase： 优化目标段一段趣； 所以可队不断进入该选顶卡填写目标 心爾此时记任三能再覆盖荊面 ~ Ini”击期 Rell/T ran: PolaiEarion- 610.D Angle EnvirnnTiPn# TulefcfiCs. [12 Space target by： 5依据经验调整优化，得到设计目标 ?也可以删除，删除某些范围的目标值 Cjnc?l Modify》Target-Discrete 》options 》Delete Target RriAnznlio^i Wavilitijih IirqKVilj!? T dcrinco I的「呵 U.O l「HnT$ Wafvelencrh 广 Wive mmber f Log d Va/etenglh RIIH i. Shmuigh 4吨怙 E ns?祀 “rail CiWllT- OpbQPt 0.0 szo rz-aaxiitt工》反口. WHITE 宦 cdi/R GLASS □匕;s七三县七.丄： GUiSG 宣=上 匚4嘗 LOO. 0 y v …j 6、设计结果查看，可以看