论述光栅传感器工作原理.pptVIP

倪霞林 机械工程及自动化学院 .精品课件. * THE COLLEGE OF MECHANICAL ENGINEERING AUTOMATION,FUZHOU UNIVERSITY 机电一体化技术 数字信号检测系统的组成 数字信号检测系统的组成 传 感 器 整 形 电 路 放 大 器 细 分 电 路 脉冲 当量 变 换 电 路 计 数 器 寄 存 器 计 算 机 显示 执行 机 构 辨向电路 数字信号检测系统的组成 细 分 电 路 .精品课件. * THE COLLEGE OF MECHANICAL ENGINEERING AUTOMATION,FUZHOU UNIVERSITY 机电一体化技术 光栅数字式传感器 光栅是由很多等节距的透光的缝隙或不透光的刻线均匀、相间排列而成的光电器件。 20线-150线/mm 25线-50线/mm 透射式 反射式 为光栅常数，也称光栅栅距。 数字信号检测系统的组成 .精品课件. * THE COLLEGE OF MECHANICAL ENGINEERING AUTOMATION,FUZHOU UNIVERSITY 机电一体化技术 光栅的分类 按用途分 物理光栅 计量光栅 利用光的衍射现象，主要用于光谱分析、光波长测量。 利用莫尔条纹现象，主要用于长度、角度、速度、加速度、振动等物理量的测量。 计量光栅 长光栅 圆光栅 用于长度测量 用于角度测量 按光的走向 透射式光栅 反射式光栅 按栅线的形式 黑白光栅（幅值光栅） 闪耀光栅（相位光栅） 径向光栅 切向光栅 环形光栅 .精品课件. * 长光栅 --- 直线位移 圆光栅 --- 角位移 构成： 主光栅 --- 标尺光栅，定光栅 指示光栅 --- 动光栅 长度 --- 测量范围； 刻线密度 --- 测量精度 ( 10、25、50、100、125线/mm ) THE COLLEGE OF MECHANICAL ENGINEERING AUTOMATION,FUZHOU UNIVERSITY 机电一体化技术 光栅传感器的结构和工作原理 光栅传感器的结构 .精品课件. * THE COLLEGE OF MECHANICAL ENGINEERING AUTOMATION,FUZHOU UNIVERSITY 机电一体化技术 光栅传感器的结构和工作原理 光源 透镜 主光栅 指示光栅 光电元件 光栅副 光 路 光栅传感器的结构 .精品课件. * 按运动形式分： 直线型---主光栅为直尺形→直线移动 旋转型---主光栅为圆盘形→旋转运动 按光学形式分： 透射式---光源与光电元件在两侧→透射光 反射式---光源与光电元件同一侧→反射光 THE COLLEGE OF MECHANICAL ENGINEERING AUTOMATION,FUZHOU UNIVERSITY 机电一体化技术 光栅传感器的结构和工作原理 光栅传感器的结构 .精品课件. * 莫尔条纹的形成 THE COLLEGE OF MECHANICAL ENGINEERING AUTOMATION,FUZHOU UNIVERSITY 机电一体化技术 光栅传感器的结构和工作原理 光栅传感器的工作原理 + - 位移 正弦波 .精品课件. * 条纹宽度： W-栅距， a-线宽， b-缝宽 W=a+b ，a=b=W/2 特例：当 ?=0, w1=w2 → B=? → 光闸莫尔条纹 当 ?=0, w1≠w2 → 纵向莫尔条纹 均匀刻线 主光栅 指示光栅 夹角 明暗相间条纹 莫尔条纹 移动 THE COLLEGE OF MECHANICAL ENGINEERING AUTOMATION,FUZHOU UNIVERSITY 机电一体化技术 莫尔条纹（Moire） .精品课件. * 方向性：垂直于角平分线，当夹角很小时 → 与光栅移动方向垂直 同步性：光栅移动一个栅距 → 莫尔条纹移动一个间距 →方向对应 放大性：夹角θ很小 → BW → 光学放大