新型气体热导传感器及其应用设计重点.docx

2007芷第7期 仪表技术与传感器 In smtme nt Tech nique and Sen sor 2007 No.7 新型气体热导传感器及其应用设计 刘殿素，吴言荪，欧勇 (重庆大学电气工程学院連庆400044 摘要:气体热导传感器是利用被测组分和参考气的热导系数不同而响应的浓度 型传感器。文中介绍了一种新型气体 热导传感器TCS208F的特点、结构及指标，由于其输出是微弱信号,所以设计出 其信号调理电路。传感器检测到的微弱信 号由测量电桥调理输出，通过集成芯片 AM402中的仪表放大器进行差分放大，由于远距离传输的需要，再将电压信号送 入 U/I变换器转换成0。20mA的工业标准电流信号，最后再把电流信号转换为电压信 号送入单片机。 关键词:热导传感器；TCS208F;AM402;信号调理 中图分类号:TP212文献标识码:B文章编号:1002—1841(200707— 0005— 02 Applicable Desig n of New Type Thermal Con ductivity Sen sor for Gases LIU Dia n- su,WU Yan-SLID,OU Yong (College of Electrical Enon eerillg,Ch ongqing Uni versity,Cho ngqing 400044,Ch ina Abstract:Thermal con ductivity sen sor for gases is concen trati on sen soy that measure the thermal con ductivity coefficie nt of the 8ain-fled gas differe nt fwm the refere nee gas.The characteristics and con figurati on of a new type thermal con ductivity SellSOr for gases wele in— troduced and a s印 al adjust circuit was designed because of faint output sig nal.AppI ying in tegrated chip AM402,the output sis nal of wheatst one bridge was amplified,then convert amplified si乎础 into 0——20mA current signal which corresp ond to the no rmal in dustrial sta ndards. Fin ally,0~20mA curre nt sis nal is conv erted voltage sig nal for putt ing the si馨 1al chip microcomputer. Key words:thermal conductivity sensor;呦 8F;AM402;signal Ie 出 circuit 1传感器TCS20SF介绍 气体热导传感器代S208F是采用先进的MEMS工艺加工技术制备的新一代传 感器件，具有小型化、集成化的特点，可以极大地提高传感器性能u J。可以测量天 然气、c02、c地、He、Xe等成分或含量，可测量非常小的气体容积变化，成本低、 功耗低、温度低，时间常数小,T08圭寸装，抗冲击能力强。 气体热导传感器TCS208F包括一个经电、热隔离的带1 — n矗薄膜的硅片，如 图1所示。薄膜上集成有2个电阻（R小尺砣，用来进行薄膜预热和温度测量。电阻 以及引线都经过钝化处理以免受到气体的腐蚀。整个薄膜都被其上层的带方形 槽 的硅片所覆盖，该方形槽为热导感测区域。被测气体由薄膜 上的横向开口以扩散的 方式通过测量区域汜J。 图1传感器截面图 当具有一定热导率的气体包围整个薄膜时，薄膜将吸收气体的热能并且升高温 度到L.要测量这个温度的变化量 △ r,必须提供一个稳定的电路以使薄膜温度的变化 量在一定时间 内保持恒定。通常，传感器提供2个以上的电阻（R。1、R也来测 量 和补偿因环境温度的变化而产生的影响。主要技术指标 ：电 收稿日期:2006—10—10收修改稿日期:2007— 05 一 17阻R面，矗砬（咒=25oC 为 92~11511;电阻凰,％为 220~ 27512;RJ（Rllll+R 砬 I x € {1,2}为 1.13~1.27;电阻差尺 血一 R砬为一 2.0~+2.0Q;温度系数口为4.8 X0 —— 5.9 X0— 3? K_1;薄膜加热时 间系数 r。＜5m