洁净室尘埃粒子测试记录.docx

CKBOOD was revised in the early morning of December 17, 2020. CKBOOD was revised in the early morning of December 17, 2020. 洁净室尘埃粒子测试记录 洁净室尘埃粒子测试记录 洁净 级别 10000级 测试 标准 GB/T 16292-2010 测试 状态 静态 测试仪器 Lasair III 测试时间 房间名称 粒子 尺寸 采样点1 采样点2 M UCL 静态最大允许数个/m3 结论 采样值C1-1 采样值C1-2 采样值C1-3 平均值A1 采样值C2-1 采样值C2-1 采样值C2-3 平均值A2 ≥0.5μm 350000 □符合□不符合 ≥5μm 2000 □符合□不符合 ≥0.5μm 350000 □符合□不符合 ≥5μm 2000 □符合□不符合 ≥0.5μm 350000 □符合□不符合 ≥5μm 2000 □符合□不符合 ≥0.5μm 350000 □符合□不符合 ≥5μm 2000 □符合□不符合 ≥0.5μm 350000 □符合□不符合 ≥5μm 2000 □符合□不符合 ≥0.5μm 3500000 □符合□不符合 ≥5μm 20000 □符合□不符合 备注 注：Ai＝（Ci-1＋Ci-2+ Ci-3）/3 Ai：采样点的平均粒子浓度（粒/M3）；Ci-n：采样点单次的粒子浓度（粒/M3）；n：采样点的采样次数（3次）；i:采样点 置信上限：UCL＝M＋t×SE 洁净室平均粒子浓度（粒/M3）：M＝（A1＋A2）/2；洁净室总采样点数：L；95％置信上限的t分布系数：t＝6.31（L＝2）； 标准误差：SE2＝〔（A1－M）2＋（A2－M）2〕/2（2－1） 检验人： 复核人：