大功率垂直腔面发射激光器用于激光显示.pdf

- 大功率垂直腔面发射激光器用于激光显示 2009-12-03 | 【大 中 小】 eVCSEL 光源展现更丰富的色彩 电泵浦的垂直腔表面发射激光器可以产生明亮、纯净的红、绿、蓝光，能用于背投电视。 激光光源在背投电视领域的应用， 吸引了众多厂商去研究： 如何使家庭影视实现真彩色以及 达到剧院效果。借助数字光处理（ DLP ）芯片或采用改进的液晶面板，目前用微显示技术可 制造出尺寸达 70 英寸 （对角线尺寸） 的高质量显示屏。 这些屏幕由传统的超高压汞灯照明， 这种汞灯在亮度、色彩重现及使用寿命方面还有些不足。 激光器可以代替汞灯与 DLP 或其他调制器一起使用，激光器作为光源具有几项优势。最大 线宽只有几个纳米的激光使色彩数量比现有的色彩标准增加了 30 ％到 40 ％。过去所需的彩 色滤光片现在也可略去， 这提高了光调制系统的工作效率； 相关的紫外和红外发射器也可免 去，工作寿命也显著延长（超过 10000 小时），同时，较好的方向性和较小的发散角也有利 于光耦合。 激光虽具有上述优点， 但它作为背投电视光源却未能商业化， 这主要是由于它成本过高及红 光、绿光、 蓝光激光器在封装上的难度较大。 而 Principia Lightworks 研制成功了一种电子泵 浦的垂直腔表面发射激光器（ VCSEL ）（见图 1）， 图 1. eVCSEL 光源由电子束泵浦；电子束的扫描方式类似于阴极射线管（上图） eVCSEL 产生高质量的红光、绿光、蓝光（下图） 他们称它为 eVCSEL ，其价格较低，有望应用到背投电视上。这种激光器可以安装在很薄的 背投电视里。 eVCSEL 腔内含有增益层， 它由块状单晶半导体或多量子阱结构组成， 后者通过标准的外延 沉积技术制备， 如金属－有机物化学气相沉积技术。 增益层位于一个高反射率镜子和一个输 出耦合器的夹层内，其厚度为 5 到 10 μm，面积约为 2cm2 。 eVCSEL 产 生 红 色 激 光 的 量 子 阱 增 益 层 材 料 为 InGaP/AlGaInP ；产 生 绿 光 的 材 料 为 ZnCdSe/ZnSSe ；产生蓝光的为 ZnSSe/ZnMgSSe 。半导体由体结构的单晶晶圆制造，分别用 CdSSe、CdS 和 ZnSSe 等来制备相应的红光、 绿光和蓝光材料。 由于 eVCSEL 的发散角约为 30 度，并且是通过电子束来扫描激光介质的，因而空间相干及相应的光斑现象实际上就从 源头上消除了。 载流子由阴极射线管发出的扫描电子束注入。 为了减少反射及增加腔体受激体积， 电子束由 永久磁场作了 90 度偏转。 扫描斑点的直径为 10 到 60 μm，加速电压为 35kV ，电子束电流为 .-- - 2mA 。 有一些因素对于电子束的直径大小很重要，比如，为了让 eVCSEL 的性能达到最优，让激 光出射方向垂直于发射层尤为重要，这要求电子束的直径小于 60 μm。但是当电子束直径小 于 10 μm时，衍射损耗将占据主导地位， 这导致了激光阈值的上升。 Principia 制备的 eVCSEL 中，电子束直径为 25 μm，使用了预聚焦电极进行聚焦， 电子束的直径很稳定， 电流为 2mA 。 红绿蓝 eVCSEL 可放置在单个阴极射线管内，由同一电子束依次扫描，或者放置在三个电 子束的系统内，同时接受扫描。 VCSEL 发展起源 1977 年，日本东京工业大学以 KENICHI I 为首的研究小组首次提出垂直腔面发射激光器 （Vertical-Cavity Surface-Emitting Lasers，VC