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A
1st level packaging 第一级封装
2nd level packaging 第二级封装
aberration 象差/色差
absorption 吸收
acceleration column 加速管
acceptor 受主
Accumulate v. 积聚, 堆积
acid 酸
acoustic streaming 声学流
active region 有源区
activate 激活
activated dopant 激活杂质
active component 有源器件
adsorption 吸附
aerosol 悬浮颗粒
air ionizer 空气电离化器
alignment mark 对准标记
alignment 对准
alloy 合金
alternate adj. 交替的, 轮流的, 预备的 v. 交替, 轮
流, 改变
aluminum 铝
aluminum subtractive process 铝刻蚀工艺
ambient 环境
ammonia(NH3) 氨气
ammonium fluoride(NH4F) 氟化氨
ammonium hydroxide(NH4OH) 氢氧化氨
amorphous 非晶的，无定型
analog 模拟信号
angstrom 埃
anion 阴离子
anisotropic etch profile 各向异性刻蚀剖面
anneal 退火
antimony(sb) 锑
antirelective coating(ARC) 抗反射涂层
APCVD 常压化学气向淀积
application specific IC(ASIC) 专用集成电路
aqueous solution 水溶液
area array 面阵列
argon （Ar ） n. [化]氩
arsenic(As) 砷
arsine(AsH3) 砷化氢，砷烷
ashing 灰化，去胶
aspect ratio 深宽比，高宽比
aspect ratio dependent etching(ARDE) 与刻蚀相关的
深宽比
asphyxiant 窒息剂
assay number 检定数
atmospheric adj. 大气的
atmospheric pressure 大气压
atmospheric pressure CVD(APCVD) 常压化学气向淀
积
atomic force microscopy(AFM) 原子力显微镜
atomic number 原子序数
attempt n. 努力, 尝试, 企图 vt. 尝试, 企图
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