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第三章:热氧化技术;
3.1. 二氧化硅及其在器件中的应用
3.1. 1. SiO2 的结构和基本性质
1)结构:
结晶形二氧化硅(石英晶体) (2 . 65g/cm3) 无定形(非晶)二氧化硅(石英玻璃) ( 2 . 20g/cm3);硅集成电路-热氧化技术;C:不含杂的石英玻璃;
;硅有四个共价键,氧有两个;氧易运动;
非桥联的原子将由其悬挂键引入电荷态;
单价的氢原子与非桥联的氧形成羟基而减少悬挂键的数目,引入氢钝化的概念;但羟基的键能较低容易断裂;
桥联氧的数目与非桥联氧的数目之比直接影响SiO2的疏松程度,进而影响许多物理性质;
杂质在SiO2中可以是网络的形成剂(Net-work Former)如:B、P、Al等;也可以是网络的改变剂(Net-work Modifer)如:Na、K、Ca、Al等;;2)化学性质: SiO2+4HF?SiF4+2H2O SiF4+2HF ?H2(SiF6)
即: SiO2+6HF?H2(SiF6)+2H2O
六氟硅酸溶于水
腐蚀速度与SiO2膜的质量有关
;3)物理性质:;密度:密度与氧化方式有关
;折射率:与密度有关
<1.46 (5500?)
电阻率:与密度及含杂量有关,<1016?cm
介电常数:与密度有关, <3.9
介电强度:与密度、含杂量及缺陷有关, 106~107V/cm
TDDB实验
*!
杂质扩散系数: (热扩散章节)
;硅集成电路-热氧化技术;杂质分凝系数:
;3.2. SiO2膜在器件中的基本作用
1) SiO2膜对杂质的掩蔽作用
利用杂质在SiO2膜中的扩散系数较小,和SiO2膜的热稳定性,实现定域掺杂。
掩蔽过程中的分凝效应;Oxide Layer Dopant Barrier ;
2)对器件的表面的保护和钝化作用
利用SiO2膜的绝缘作用,将pn结与外界隔离,提高稳定性和可靠性;利用对SiO2膜 中固定电荷的控制,改变器件表面的电场分布。
3)对器件的电绝缘和隔离作用
利用SiO2膜的绝缘作用,实现引线与元器件间的绝缘,实现集成电路元器件间的隔离。;Field Oxide Layer ;4)用作电容器的介质材料
SiO2膜的介电常数在10kHz下工作时为3~4,损耗因数为10-1~10-3,击穿电压高,温度系数小。
5)MOSFET的绝缘栅介质
6)光电和发光器件的减反膜; Oxide Applications: Field Oxide; Oxide Applications: Gate Oxide;Oxide Applications: Barrier Oxide; Oxide Applications: Dopant Barrier; Oxide Applications: Pad Oxide;Oxide Applications: Implant Screen Oxide;Passivation layer;3.3. SiO2膜的热氧化方法(干、湿、水汽、高压、掺氯、低温)
1)器件对氧化膜的基本要求
致密、杂质缺陷少(体内活动和固定电荷少)、Si/SiO2界面态密度小。
2)干氧氧化
Si+O2?SiO2
特点:致密、杂质缺陷少、Si/SiO2界面态密度小、疏水性好;硅集成电路-热氧化技术;3)水汽氧化
Si+2H2O ?SiO2+2H2?
实际过程较复杂
水汽氧化的氧化速度快,较疏松,掩蔽能力差,疏水性差。
;硅集成电路-热氧化技术;4)湿氧氧化
干氧与湿氧混和
质量介于前两种之间
在作为掩膜和介质隔离的氧化膜,常采用
干 湿 干 工艺
;硅集成电路-热氧化技术;5)H2、O2合成氧化
特点:质量接近干氧氧化,氧化速度接近水汽氧 化。
6)掺氯氧化
干氧氧化时,加入少许(?1%)HCl、Cl2或TCE(三氯乙烯)
特点:能有效地钝化氧化膜中的可动正离子; 降低界面态浓度; 抑制氧化层错的生长; 氧化速率增加; 可以利用[Cl]清除杂质;;HCl;7)高压氧化(HIPOX)
High Pressure Oxidation
~25 atm、生长速度快、可低温生长(~600°C)
主要用于场氧化和隔离氧化;
8) 低压氧化
有效地控制(降低)氧化速率(?)
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