电子显微技术.pptx

电子显微技术;电子显微镜(简称电镜，EM)经过五十多年的发展已成为现代科学技术中不可缺少的重要工具。我国的电子显微学也有了长足的进展。电子显微镜的创制者鲁斯卡(E.Ruska)教授因而获得了1986年诺贝尔奖的物理奖。 ;电子与物质相互作用会产生透射电子，弹性散射电子，能量损失电子，二次电子，背反射电子，吸收电子，X射线，俄歇电子，阴极发光和电动力等等。电子显微镜就是利用这些信息来对试样进行形貌观察、成分分析和结构测定的。;电子显微镜有很多类型，主要有透射电子显微镜(简称透射电镜，TEM)和扫描电子显微镜(简称扫描电镜，SEM)两大类。扫描透射电子显微镜(简称扫描透射电镜，STEM)则兼有两者的性能。;总述——显微镜的发展历史;总述：;总述：;Optical Microscope VS SEM;总述：;总述：;主要内容：;TEM（透射电子显微镜）：;TEM——透射电镜的结构;图5-12是电子光学系统的??成部分示意图。由图可见透射电镜电子光学系统是一种积木式结构，上面是照明系统、中间是成像系统、下面是观察与记录系统。;TEM——照明系统;TEM——电子枪;TEM——灯丝;TEM——聚光镜;TEM——从聚光镜到物镜;TEM——成像系统;TEM——物镜;TEM——中间镜;TEM——投影镜;TEM——成像系统;TEM——观察与记录系统;透射电镜的主要部件——样品台;透射电镜的主要部件——样品台;透射电镜的主要部件——消像散器;透射电镜的主要部件——光阑;透射电镜的主要部件——第二聚光镜光阑;TEM——样品制备;TEM——样品制备;TEM——样品制备;透射电镜的主要部件——物镜光阑;透射电镜的主要部件——选区光阑;SEM（扫描电子显微镜）：;SEM——原理;SEM——扫描电镜的结构;扫描电镜的主要结构： 　　主要包括五个主要组成部分：电子束会聚系统、样品室、真空系统、电子学系统和显示部分。;SEM——电子会聚系统;电子枪;SEM——真空系统;SEM——电子学系统;检测样品在入射电子作用下产生的物理信号，然后经视频放大作为显像系统的调制信号。普遍使用的是电子检测器，它由闪烁体，光导管和光电倍增器所组成 ;SEM——显示部分;SEM——主要性能特点;SEM——主要性能特点;SEM——主要性能特点;SEM——主要性能特点;SEM——主要性能特点;多种功能的分析;SEM——样品的制备;SEM——样品的制备;SEM——样品的制备;导电处理装置;SEM——信号的产生;SEM——弹性散射和非弹性散射;SEM——三种主要信号;SEM——三种主要信号;SEM——其他信号;SEM——信号成像对比;SEM——信号电子的用途;SEM——扫描电镜应用实例;SEM——扫描电镜应用实例;SEM——扫描电镜应用实例;SEM——扫描电镜应用实例;STM——扫描遂道显微镜;STM——扫描遂道显微镜;STM——仪器构造;STM——结构示意图;STM——扫描遂道显微镜;STM——分辨率;STM——针尖的制备;STM——电化学腐蚀法制备针尖;STM——针尖的清洁处理;样品表面需光滑和清洁 导电性能好;STM——影响测量结果的因素;STM——不同环境条件下的应用;STM——原子级分辨图像;STM——电化学环境中的应用;STM——实现对原子的搬运;纳米算盘 C60每10个一组，在铜表面形成世界上最小的算盘。; 中国科学院化学所在石墨表面通过搬迁碳原子而绘制出的世界上最小的中国地图。;AFM——原子应力显微镜;AFM——原理图;硬件架构：在原子力显微镜（AFM）的系统中，可分成三个部分：力检测部分、位置检测部分、反馈系统。;力检测部分：???????在原子力显微镜（AFM）的系统中，所要检测的力是原子与原子之间的范德华力。所以在本系统中是使用微小悬臂（cantilever）来检测原子之间力的变化量。这微小悬臂有一定的规格，例如：长度、宽度、弹性系数以 及针尖的形状，而这些规格的 选择是依照样品的特性，以及 操作模式的不同，而选择不同 类型的探针。;位置检测部分：???????在原子力显微镜（AFM）的系统中，当针尖与样品之间有了交互作用之后，会使得悬臂（cantilever）摆动，所以当激光照射在cantilever的末端时，其反射光的位置也会因为cantilever摆动而有所改变， 这就造成偏移量的产生。在 整个系统中是依靠激光光斑 位置检测器将偏移量记录下 并转换成电的信号，以供控 制器作信号处理。; 反馈系统：???????在原子力显微镜（AFM）的系统中，将信号经由激光检测器取入之后，在反馈系统中会将此信号当作反馈信号，作为内部的调整信号，并驱使通常由压电陶瓷管制作的扫描器做适当的移动，以保持样品与针尖保持合适的作