某半导体厂房通风系统设计.doc

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目录 TOC \o "1-3" \h \z \u 摘要 I Abstract II 1.前 言 1 1.1洁净技术概述 1 1.2国内外空气洁净技术的发展差距 1 1.3 空气洁净技术存在问题 2 1.4 本文设计内容及意义 4 2.设计原始资料 5 2.1设计对象 5 2.2气象资料 5 2.3 设计要求 5 3.方案的选择 7 3.1 洁净室房间气流组织方式的确定 7 3.2空调系统形式的选择 8 3.2.1全空气系统 8 3.2.2 空气—水系统 8 3.2.3 冷剂式系统 8

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