MEMS执行器__微电机.pptxVIP

微 电 机;微电机的概述 微电机的分类介绍 微电机的应用 微电机的研究和发展方向 ;微电机概述; 执行器根据信号处理，控制电路发出的指令自动完成人们所需要的各种功能。可以通过静电力、电磁力、压电力、磁致伸缩、超声波和形状记忆合金膜片等驱动。. 微执行器的核心部件是微电动机, 在微执行器中占主导地位。根据其执行原理不同分为不同类型，其各自的性能和应用场合也各异。;各种执行方式比较;微电机分类;;微电机分类;;微电机分类;;;微电机分类;电磁型微电机; 根据磁执行原理，利用磁场产生力、力矩或者微结构的位移，驱动磁场作用在载流导线、电感线圈或者磁性材料。 ;;微电机分类;; 在压电陶瓷片上施加电信号, 使之产生一定轨迹的机械振动, 激励与其粘接在一起的定子弹性体的振动, 通过弹性体与转子间的相互作用驱动转子运动。;;; 优点 响应速度快 输出转矩高 廉价质轻 ;形状记忆合金微电机 执行机构比较简单，有偏置式和推挽式两种。按电机的运动形式，其基本结构可分为直线位移型和旋转位移型。;形状记忆合金微电机;;微电机的分类;磁致伸缩型微电机;磁致伸缩型微电机;;;微电机分类;微电机的应用;军事领域 各种机器昆虫、微机器人等将会在今后的反恐、救援、战争前线侦察、考古、司法取证、科学探索等方面大显身手，而每一个微型探测器内部都装有大量的微电机以完成各种需要的动作。 医疗领域 医疗领域是微机械技术应用的最具代表性的领域。微创伤内窥诊疗、精密显微外科、体内局部微量给药都需要高度灵巧、高度柔顺性的微电机。;人工心脏;微电机的应用;国内外微电机研究对比;;;