《培训系列之干式真空泵原理与技术基础》ppt课件教案.pptVIP

其极限压力可达到0.1～1 Pa。 为了增大压缩比，减少泄漏量，要求转子加工精度较高。 螺杆泵工作温度较高，可在恶劣的抽气条件下工作。 它可用于真空蒸馏、蒸发、干燥、冷冻干燥、溶剂还原、消毒、半导体工业、塑料工业真空涂层、真空铸造、真空冶金、真空热处理、化学试剂的生产用，是一种目前用途较多的泵体。 2.6 涡轮式干泵 它是一种动量传输式干式泵。 日本三菱公司生产有DT系列产品，日立公司生产有复合式的干泵，均可从大气压开始工作，极限压力10-4～10-2 Pa。转速36000 rpm，抽速20 L/s，重140 kg，6 kw。 最近几年在JVST上报导台湾研制一种涡轮式增压泵，出口压力可达到4000 Pa，用磁悬浮轴承，可以获得清洁的真空。 2.7 分子泵 分子泵自1912年诞生以来，至今已快近一个世纪了。它在初期进展较缓慢，在1970年以前,分子泵的应用还仅限于核物理、电真空、表面科学等领域。但近20年来由于半导体产业的兴起和薄膜工业的发展，分子泵才被人们所重视,并得到了兴旺和发达，现代的分子泵已发展到实用和普及的阶段。 2.7.1 分子泵的特点 涡轮分子泵是靠高速转动的转子携带气体分子获得超高真空的一种真空泵 其极限压力可达10－9 Pa 抽速系列从50～40000L/s 振动小 转速可高达80000转/min 结构精密 分子泵、涡轮分子泵、磁悬浮轴承和气体静压轴承式涡轮分子泵、复合式分子泵、低温型涡轮分子泵、新型牵引分子泵、陶瓷涡轮分子泵，抽反应生成物的涡轮分子泵和极高真空涡轮分子泵 2.7.2 分子泵分类 涡轮分子泵 牵引分子泵 盘型分子泵 螺旋矩形牵引分子泵 复合分子泵 2.7.3 涡轮分子泵 　涡轮分子泵的基本结构有两种,一种是卧式的,另一种是立式的。 现在出现一种宽域型的涡轮分子泵，有标准型和化学型两种。标准型泵可用于10-7～200Pa的压力范围，流量之大可与低真空范围的机械增压泵相媲美。采用气体清洗措施来保护轴承，还设有防灰尘和玻璃碎片侵入的措施。化学型泵可适于对腐蚀性气体的连续稳定地排气，因转子上涂以耐腐蚀性涂层，轴承采用气体清洗措施。排出腐蚀性气体时，应采取气体清洗措施。磁力轴承用N2来清洗，以防腐蚀性气体侵入。 可获得清洁的高真空和超高真空环境。 应用领域： 它广泛应用于表面分析、加速器技术、等离子体技术、电真空器件的制造及真空技术的各个领域。 美国VARIAN公司的涡轮分子泵 2.7.4牵引分子泵 （1）螺旋矩形牵引分子泵 （2）盘型牵引分子泵 2.7.5 复合式分子泵 1980年以前，涡轮分子泵多用于科研部门，当半导体产业出现后，要求分子泵能连续地大量排气和获得清洁的真空,经常需要涡轮分子泵在1Pa以上工作。 但涡轮分子泵恰好在这个压力范围内抽速下降很多。为了使泵能在高压区域保持有较高的抽气性能，在原有的涡轮分子泵的高压侧配置了螺旋槽式的牵引分子泵，将两种泵的抽气单元串联组成一个整体，形成了一种宽域型的复合式分子泵。 涡轮＋螺旋矩形复合分子泵 涡轮＋盘型槽复合分子泵 2.7.6 陶瓷分子泵 一般的涡轮分子泵的转子多用高强度的铝合金材料制造。但在核聚变实验、加速器等领域内，要求泵能在强磁场的条件下应用。 在半导体产业中，为防止气态的反应生成物在泵内相变为固体颗粒物，而要求泵温较高，对砷化镓等强腐蚀性气体的抽除，要求泵应有耐腐蚀的性能。这样一来，再使用原来的金属材料制造分子泵的转子就会遇到很多困难。在这些恶劣的工作环境下最好的材料是使用陶瓷制造分子泵。 因为陶瓷材料具有良好的电绝缘性、耐磁性、耐热性，低的热膨胀性及耐腐蚀性等优点，但它也有些缺点，如脆性、强度的可靠性、加工焊接的特殊性及价格高等。现用于制作回转体的材料有高强度的氮化硅(Si3N4)。 2.7.7 低温型涡轮分子泵 为了有效的抽除水分子，开发了一种低温型的涡轮分子泵。在涡轮分子泵的入口处安设一个温度为-150℃的低温捕集器。这样一来，涡轮分子泵对水分子的抽速有很大的提高。一般高真空排气的主要对象是水分子。抽气时间的长短主要取决于泵对水分子的抽气能力。由于涡轮分子泵的用途很广,提高泵对水分子的抽气能力是非常有意义的。 众所周知，对水分子抽速最大的是低温泵。如用泵入口尺寸相同的两种泵,涡轮分子泵对水分子的抽速为750 L/s，而低温泵对水分子的抽速则高达4000 L/s。 2.7.8 可抽除反应生成物的涡轮分子泵 在半导体制造装置上使用的涡轮分子泵，常会遇到恶劣的工作环境。如刻蚀技术，刻蚀气体BCl3与刻蚀对象Al相互作用，生成AlCl3